真空泵是(shi)指(zhi)運用(yong)機械、物理、化學(xue)或物理化學(xue)的方法對被抽容器(qi)(qi)進(jin)行抽氣而獲得(de)真(zhen)空(kong)的器(qi)(qi)件或設備。
簡單(dan)而言,真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)是用各種(zhong)各樣方式在(zai)某一密(mi)閉空(kong)間中改進、造成(cheng)和保持真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的設備。在(zai)泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang)內(nei)(nei)產生根據轉動造成(cheng)體(ti)(ti)積的轉變 而將(jiang)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)排(pai)出來(lai)(lai)泵(beng)(beng)(beng)外,主要是在(zai)吸(xi)氣(qi)(qi)過程(cheng)中,吸(xi)氣(qi)(qi)腔(qiang)體(ti)(ti)積擴大,真空(kong)值減少(shao),將(jiang)器皿內(nei)(nei)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)吸(xi)進泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang),在(zai)排(pai)氣(qi)(qi)管全過程(cheng)中體(ti)(ti)積縮(suo)小(xiao),氣(qi)(qi)體(ti)(ti)壓強(qiang)擴大,最后根據骨(gu)架密(mi)封將(jiang)吸(xi)進的氣(qi)(qi)體(ti)(ti)排(pai)出來(lai)(lai)泵(beng)(beng)(beng)外。
按(an)真(zhen)(zhen)空泵的原理(li),真(zhen)(zhen)空泵大部分(fen)能夠分(fen)成二種(zhong)種(zhong)類(lei),即氣體收集泵和氣體傳送泵。
特點
(1)在較寬的工作壓力范疇(chou)內有很大的泵效;
(2)轉子(zi)具備優良的幾何圖形對稱,故震動(dong)小,運行穩(wen)定(ding)。轉子(zi)間及轉子(zi)和外殼間均(jun)有空隙,無需(xu)潤化,磨擦損(sun)害小,可大幅(fu)度降低(di)推動(dong)輸(shu)出功率(lv),進而可完成(cheng)較高速(su)旋轉;
(3)泵腔內不用(yong)(yong)用(yong)(yong)食油密封(feng)性和(he)潤化,可降(jiang)低油蒸汽(qi)對超濾裝置的環(huan)境污染(ran);
(4)泵腔內無(wu)(wu)縮小,無(wu)(wu)自動(dong)排氣(qi)閥。構造簡易、緊密,對被抽氣(qi)體中的塵土(tu)和水蒸氣(qi)不比較(jiao)敏感(gan);
(5)縮小較為(wei)低,對氡氣抽真空(kong)實(shi)際效果差;
(6)轉子表面(mian)(mian)為形狀較(jiao)為復(fu)雜的曲線柱面(mian)(mian),加(jia)工和檢查比較(jiao)困(kun)難。