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真空泵是指(zhi)運用(yong)機(ji)械、物理、化(hua)學(xue)或物理化(hua)學(xue)的方法(fa)對被抽(chou)(chou)容器進(jin)行(xing)抽(chou)(chou)氣而獲得(de)真(zhen)空的器件或設備。
簡(jian)單而言，真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)是用(yong)各種各樣方式在(zai)某一(yi)密(mi)閉空(kong)間中改進(jin)、造(zao)成和保(bao)持真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的設(she)備(bei)。在(zai)泵(beng)(beng)(beng)腔內(nei)產生根(gen)據(ju)轉(zhuan)動(dong)造(zao)成體(ti)積的轉(zhuan)變 而將(jiang)氣(qi)體(ti)排出來泵(beng)(beng)(beng)外，主要是在(zai)吸氣(qi)過程中，吸氣(qi)腔體(ti)積擴(kuo)大，真(zhen)空(kong)值減少，將(jiang)器皿內(nei)氣(qi)體(ti)吸進(jin)泵(beng)(beng)(beng)腔，在(zai)排氣(qi)管全過程中體(ti)積縮小，氣(qi)體(ti)壓(ya)強擴(kuo)大，最后根(gen)據(ju)骨架密(mi)封將(jiang)吸進(jin)的氣(qi)體(ti)排出來泵(beng)(beng)(beng)外。
按真(zhen)空泵的原(yuan)理，真(zhen)空泵大部分(fen)能(neng)夠分(fen)成二種種類，即氣體(ti)收集(ji)泵和(he)氣體(ti)傳送泵。
特點
(1)在較寬(kuan)的(de)工(gong)作壓力范疇內(nei)有很大的(de)泵效；
(2)轉子(zi)具(ju)備優(you)良的幾何圖形對稱，故震動小，運行穩定。轉子(zi)間(jian)及轉子(zi)和外殼間(jian)均有空隙，無需潤化，磨(mo)擦損害小，可(ke)大(da)幅度降低推動輸出功率(lv)，進而可(ke)完成(cheng)較高速(su)旋轉；
(3)泵腔內不(bu)用(yong)(yong)用(yong)(yong)食油密封性和潤化(hua)，可降低油蒸汽對(dui)超濾裝置的環境污(wu)染；
(4)泵腔內(nei)無(wu)縮小，無(wu)自動(dong)排氣(qi)閥。構(gou)造簡易、緊密，對被抽氣(qi)體(ti)中的塵土和水蒸氣(qi)不(bu)比較敏感；
(5)縮小較為低，對(dui)氡(dong)氣抽真空實際效果差；
(6)轉子表面為(wei)形(xing)狀較為(wei)復雜的曲線柱面，加(jia)工(gong)和檢查比較困難。
