真空泵是指運用機械、物(wu)(wu)理、化(hua)學(xue)或物(wu)(wu)理化(hua)學(xue)的方法對被抽容(rong)器進(jin)行(xing)抽氣而獲(huo)得真空的器件或設備(bei)。

簡單而言，真空泵(beng)是(shi)用(yong)各種各樣方式(shi)在某(mou)一密(mi)(mi)閉(bi)空間中改進(jin)、造(zao)成和(he)保持真空泵(beng)的設備(bei)。在泵(beng)腔內(nei)產生根據(ju)轉動造(zao)成體積的轉變 而將氣(qi)體排(pai)出(chu)(chu)來泵(beng)外(wai)，主要是(shi)在吸(xi)氣(qi)過(guo)(guo)程(cheng)中，吸(xi)氣(qi)腔體積擴大，真空值減少，將器皿內(nei)氣(qi)體吸(xi)進(jin)泵(beng)腔，在排(pai)氣(qi)管全過(guo)(guo)程(cheng)中體積縮小，氣(qi)體壓強擴大，最后根據(ju)骨(gu)架密(mi)(mi)封將吸(xi)進(jin)的氣(qi)體排(pai)出(chu)(chu)來泵(beng)外(wai)。

按真(zhen)空(kong)泵的原(yuan)理(li)，真(zhen)空(kong)泵大部分能夠分成二種種類，即氣(qi)體收(shou)集泵和(he)氣(qi)體傳送泵。

特點

(1)在較寬的工作(zuo)壓(ya)力(li)范疇內有很(hen)大的泵效；

(2)轉子(zi)(zi)具(ju)備優(you)良的幾何圖形對稱，故震動(dong)小，運行穩定。轉子(zi)(zi)間及轉子(zi)(zi)和外殼(ke)間均有空隙，無需潤化(hua)，磨擦損(sun)害小，可大幅度降低推(tui)動(dong)輸(shu)出(chu)功率，進而可完成較高(gao)速旋轉；

(3)泵腔內不用用食油(you)密(mi)封性和潤化(hua)，可降低油(you)蒸汽對超濾裝置的環境污染；

(4)泵(beng)腔(qiang)內無縮小，無自動排氣(qi)(qi)閥(fa)。構造(zao)簡易、緊(jin)密，對被抽氣(qi)(qi)體中的(de)塵土和水蒸氣(qi)(qi)不(bu)比(bi)較敏感；

(5)縮小較(jiao)為低(di)，對(dui)氡氣抽真空實際效果差；

(6)轉(zhuan)子(zi)表(biao)面為(wei)形狀較為(wei)復雜(za)的曲線柱面，加工和檢(jian)查比較困難。