
真空泵是指運用機械、物理、化(hua)學或(huo)物理化(hua)學的(de)方法(fa)對被抽容器進行(xing)抽氣(qi)而獲得真空的(de)器件(jian)或(huo)設備。
簡單而言(yan),真空泵(beng)(beng)是(shi)用各(ge)種各(ge)樣方(fang)式在(zai)某一密閉空間中改進(jin)、造成和保(bao)持(chi)真空泵(beng)(beng)的設備。在(zai)泵(beng)(beng)腔內(nei)產生(sheng)根據轉動造成體(ti)積的轉變 而將(jiang)氣體(ti)排出來泵(beng)(beng)外(wai),主要是(shi)在(zai)吸(xi)氣過程中,吸(xi)氣腔體(ti)積擴大(da),真空值減少,將(jiang)器(qi)皿(min)內(nei)氣體(ti)吸(xi)進(jin)泵(beng)(beng)腔,在(zai)排氣管(guan)全(quan)過程中體(ti)積縮小(xiao),氣體(ti)壓強擴大(da),最后根據骨架密封(feng)將(jiang)吸(xi)進(jin)的氣體(ti)排出來泵(beng)(beng)外(wai)。
按真空泵的原理,真空泵大部分(fen)(fen)能夠分(fen)(fen)成(cheng)二種(zhong)種(zhong)類,即氣體收集泵和氣體傳送泵。
特點
(1)在(zai)較寬的工(gong)作壓力范疇內有很(hen)大的泵效;
(2)轉(zhuan)(zhuan)子具備優良的幾何圖形對稱,故震動小(xiao),運行穩(wen)定。轉(zhuan)(zhuan)子間(jian)(jian)及(ji)轉(zhuan)(zhuan)子和外(wai)殼(ke)間(jian)(jian)均有空隙,無需(xu)潤化,磨擦損害小(xiao),可大(da)幅度降(jiang)低推動輸(shu)出功率,進而可完成較(jiao)高速旋轉(zhuan)(zhuan);
(3)泵腔內不(bu)用用食油密封性(xing)和潤化,可(ke)降低油蒸汽對超濾(lv)裝置的環境污(wu)染(ran);
(4)泵(beng)腔(qiang)內無縮小,無自動排氣(qi)(qi)閥。構造簡易、緊(jin)密,對被抽氣(qi)(qi)體(ti)中的塵土和水(shui)蒸氣(qi)(qi)不比較敏感;
(5)縮(suo)小較為低,對氡氣抽真空實際效果(guo)差;
(6)轉子表(biao)面(mian)為(wei)形(xing)狀較(jiao)為(wei)復雜的曲(qu)線柱(zhu)面(mian),加工和檢查比較(jiao)困難。