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真空泵是(shi)指運用機械(xie)、物理(li)、化學(xue)(xue)或物理(li)化學(xue)(xue)的方法(fa)對被(bei)抽(chou)容器進行抽(chou)氣而獲得真空的器件或設(she)備。
簡單而(er)言，真(zhen)空(kong)泵(beng)是用各(ge)種(zhong)各(ge)樣(yang)方式在某(mou)一密(mi)閉空(kong)間(jian)中改進(jin)、造成和保持真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)設(she)備。在泵(beng)腔內產生根據轉(zhuan)(zhuan)動造成體(ti)(ti)積(ji)(ji)的(de)轉(zhuan)(zhuan)變 而(er)將(jiang)氣體(ti)(ti)排(pai)出來(lai)泵(beng)外(wai)(wai)，主要(yao)是在吸(xi)氣過程(cheng)中，吸(xi)氣腔體(ti)(ti)積(ji)(ji)擴大，真(zhen)空(kong)值減少，將(jiang)器(qi)皿內氣體(ti)(ti)吸(xi)進(jin)泵(beng)腔，在排(pai)氣管全過程(cheng)中體(ti)(ti)積(ji)(ji)縮小(xiao)，氣體(ti)(ti)壓強擴大，最后根據骨架密(mi)封將(jiang)吸(xi)進(jin)的(de)氣體(ti)(ti)排(pai)出來(lai)泵(beng)外(wai)(wai)。
按(an)真空(kong)(kong)泵的原(yuan)理，真空(kong)(kong)泵大部分(fen)能(neng)夠分(fen)成(cheng)二種種類，即氣(qi)體(ti)收集(ji)泵和(he)氣(qi)體(ti)傳(chuan)送泵。
特點
(1)在較(jiao)寬的工作壓力范疇內有很大的泵效(xiao)；
(2)轉(zhuan)子具備優良(liang)的幾何圖形對稱，故震動(dong)小，運行穩定(ding)。轉(zhuan)子間及轉(zhuan)子和(he)外殼間均有空隙，無需潤化(hua)，磨擦損害小，可大幅度降低推(tui)動(dong)輸出功率，進而可完成較高速旋轉(zhuan)；
(3)泵腔內不用用食(shi)油(you)密封性和潤化，可降低油(you)蒸汽對超濾(lv)裝置的環境(jing)污染；
(4)泵腔內無(wu)縮小，無(wu)自動排氣閥。構(gou)造簡(jian)易、緊密，對(dui)被抽氣體中的塵(chen)土和水蒸(zheng)氣不比較敏感(gan)；
(5)縮小(xiao)較為低(di)，對氡(dong)氣抽真(zhen)空(kong)實(shi)際效果(guo)差；
(6)轉子表(biao)面為形狀較(jiao)為復(fu)雜的(de)曲線柱面，加工(gong)和檢查(cha)比較(jiao)困難。
