
真空泵是指運(yun)用機械、物理(li)、化學或(huo)物理(li)化學的方(fang)法對被抽(chou)容器進行(xing)抽(chou)氣而獲得真空的器件或(huo)設備(bei)。
簡單而言(yan),真(zhen)空泵(beng)(beng)是(shi)用各(ge)種各(ge)樣方式在某一密閉空間(jian)中改進、造成和保持真(zhen)空泵(beng)(beng)的設(she)備。在泵(beng)(beng)腔(qiang)內(nei)產(chan)生根據轉動造成體積(ji)的轉變 而將(jiang)(jiang)氣(qi)(qi)體排出來泵(beng)(beng)外,主要是(shi)在吸氣(qi)(qi)過程中,吸氣(qi)(qi)腔(qiang)體積(ji)擴大,真(zhen)空值(zhi)減少,將(jiang)(jiang)器皿內(nei)氣(qi)(qi)體吸進泵(beng)(beng)腔(qiang),在排氣(qi)(qi)管全過程中體積(ji)縮小,氣(qi)(qi)體壓強擴大,最后根據骨架密封將(jiang)(jiang)吸進的氣(qi)(qi)體排出來泵(beng)(beng)外。
按真(zhen)空泵(beng)(beng)的原理,真(zhen)空泵(beng)(beng)大部分(fen)(fen)能夠分(fen)(fen)成二種(zhong)種(zhong)類,即氣體收(shou)集泵(beng)(beng)和(he)氣體傳送(song)泵(beng)(beng)。
特點
(1)在較寬的工作壓力范疇內有(you)很大的泵效(xiao);
(2)轉子(zi)具備(bei)優(you)良的(de)幾(ji)何(he)圖形對稱,故震動小,運行穩(wen)定(ding)。轉子(zi)間及轉子(zi)和外殼間均(jun)有空隙,無(wu)需(xu)潤化,磨(mo)擦損害小,可大(da)幅度降低推動輸出功率,進而可完成較高速旋轉;
(3)泵腔(qiang)內不用用食(shi)油密封性和(he)潤化,可降低油蒸汽對超(chao)濾裝置的環境(jing)污染;
(4)泵腔(qiang)內無縮小,無自動排氣閥(fa)。構造(zao)簡(jian)易、緊密,對(dui)被抽氣體中的塵土和(he)水蒸氣不比較敏(min)感;
(5)縮小較為低,對氡氣抽真空實(shi)際效果差;
(6)轉子表面為(wei)形狀較為(wei)復雜的曲線柱面,加(jia)工和(he)檢查比較困(kun)難。