
真空泵是指運用機械、物理、化學或(huo)物理化學的(de)方(fang)法對(dui)被(bei)抽容器(qi)進行抽氣而獲得真空的(de)器(qi)件或(huo)設備。
簡單而言,真(zhen)空泵(beng)(beng)是用(yong)各(ge)種各(ge)樣方式(shi)在某一密閉空間中改(gai)進(jin)、造成(cheng)(cheng)和保持真(zhen)空泵(beng)(beng)的設備。在泵(beng)(beng)腔(qiang)(qiang)(qiang)內(nei)產生根(gen)據轉動造成(cheng)(cheng)體(ti)(ti)積(ji)(ji)的轉變 而將(jiang)氣(qi)體(ti)(ti)排出來(lai)泵(beng)(beng)外,主要是在吸(xi)氣(qi)過程中,吸(xi)氣(qi)腔(qiang)(qiang)(qiang)體(ti)(ti)積(ji)(ji)擴(kuo)大,真(zhen)空值減(jian)少,將(jiang)器(qi)皿內(nei)氣(qi)體(ti)(ti)吸(xi)進(jin)泵(beng)(beng)腔(qiang)(qiang)(qiang),在排氣(qi)管全過程中體(ti)(ti)積(ji)(ji)縮小,氣(qi)體(ti)(ti)壓強(qiang)擴(kuo)大,最后根(gen)據骨架密封(feng)將(jiang)吸(xi)進(jin)的氣(qi)體(ti)(ti)排出來(lai)泵(beng)(beng)外。
按真空泵(beng)的原(yuan)理,真空泵(beng)大部分能夠分成二種種類,即氣體(ti)(ti)收集泵(beng)和氣體(ti)(ti)傳送泵(beng)。
特點
(1)在(zai)較(jiao)寬的工作(zuo)壓(ya)力范疇(chou)內有很(hen)大的泵效;
(2)轉(zhuan)子具(ju)備(bei)優(you)良的(de)幾何圖形(xing)對稱,故震(zhen)動小,運行穩定。轉(zhuan)子間(jian)及轉(zhuan)子和外殼間(jian)均有空隙,無(wu)需潤化,磨擦損(sun)害小,可大幅度降低推動輸(shu)出功率,進而(er)可完成(cheng)較高速旋轉(zhuan);
(3)泵腔(qiang)內不用(yong)用(yong)食油密(mi)封性和(he)潤(run)化,可降低(di)油蒸汽(qi)對超濾(lv)裝(zhuang)置的環境污染;
(4)泵腔內(nei)無(wu)縮小,無(wu)自動排(pai)氣閥(fa)。構造簡(jian)易、緊密,對被抽氣體(ti)中的塵(chen)土和水蒸氣不比較(jiao)敏(min)感;
(5)縮小較為低,對氡氣抽真空實際效(xiao)果差;
(6)轉子表面(mian)為(wei)形狀較為(wei)復雜的曲線柱面(mian),加工和檢查比較困難。