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真空泵是(shi)指運用機械、物理、化(hua)學或物理化(hua)學的(de)方(fang)法對(dui)被抽(chou)容(rong)器進行抽(chou)氣而獲得真空的(de)器件或設(she)備。
簡(jian)單而(er)言，真(zhen)空(kong)(kong)泵是(shi)(shi)用各(ge)種各(ge)樣方式在(zai)(zai)某一密(mi)(mi)閉空(kong)(kong)間中改進、造成(cheng)(cheng)和保持真(zhen)空(kong)(kong)泵的(de)設備。在(zai)(zai)泵腔內產生根據(ju)轉(zhuan)動(dong)造成(cheng)(cheng)體(ti)積(ji)(ji)的(de)轉(zhuan)變 而(er)將(jiang)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)排(pai)(pai)出來泵外，主要是(shi)(shi)在(zai)(zai)吸氣(qi)(qi)(qi)過程(cheng)中，吸氣(qi)(qi)(qi)腔體(ti)積(ji)(ji)擴(kuo)大(da)，真(zhen)空(kong)(kong)值減少，將(jiang)器(qi)皿內氣(qi)(qi)(qi)體(ti)吸進泵腔，在(zai)(zai)排(pai)(pai)氣(qi)(qi)(qi)管(guan)全過程(cheng)中體(ti)積(ji)(ji)縮小(xiao)，氣(qi)(qi)(qi)體(ti)壓強擴(kuo)大(da)，最后(hou)根據(ju)骨架(jia)密(mi)(mi)封將(jiang)吸進的(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)排(pai)(pai)出來泵外。
按真(zhen)空泵的原理，真(zhen)空泵大部分能夠分成二種種類(lei)，即氣體收集泵和氣體傳送泵。
特點
(1)在較寬的工作壓力(li)范(fan)疇內(nei)有很大的泵效(xiao)；
(2)轉子(zi)(zi)具備優良的幾何圖形對稱，故震動(dong)小，運行穩定。轉子(zi)(zi)間及轉子(zi)(zi)和外(wai)殼(ke)間均有(you)空隙，無需潤(run)化，磨擦損害小，可大幅度(du)降低(di)推(tui)動(dong)輸出功(gong)率，進而可完(wan)成較高速旋轉；
(3)泵腔內不用用食油密(mi)封性和(he)潤化，可降低油蒸汽(qi)對(dui)超濾裝置的環境污(wu)染；
(4)泵腔內無(wu)縮小，無(wu)自動排氣閥。構造簡(jian)易、緊密，對(dui)被抽氣體中(zhong)的塵(chen)土和水(shui)蒸氣不比較敏感；
(5)縮小較(jiao)為(wei)低，對氡氣抽真空實際(ji)效果(guo)差(cha)；
(6)轉(zhuan)子(zi)表面(mian)為形(xing)狀較為復雜的曲線柱面(mian)，加(jia)工和(he)檢(jian)查(cha)比(bi)較困難。
