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真空泵是指運(yun)用機械、物(wu)(wu)理、化學或(huo)物(wu)(wu)理化學的方法對被抽容(rong)器進行抽氣而獲(huo)得真空(kong)的器件或(huo)設備。
簡單而言，真空(kong)(kong)泵是用各種(zhong)各樣方式在(zai)某一密(mi)(mi)閉空(kong)(kong)間中(zhong)(zhong)改進、造成和保持真空(kong)(kong)泵的設備。在(zai)泵腔內產(chan)生根(gen)據(ju)轉(zhuan)動造成體積(ji)的轉(zhuan)變 而將氣(qi)(qi)(qi)體排(pai)出來(lai)泵外(wai)，主要是在(zai)吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)過程中(zhong)(zhong)，吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)腔體積(ji)擴大(da)，真空(kong)(kong)值減少，將器皿內氣(qi)(qi)(qi)體吸(xi)進泵腔，在(zai)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)管全(quan)過程中(zhong)(zhong)體積(ji)縮小，氣(qi)(qi)(qi)體壓強擴大(da)，最(zui)后根(gen)據(ju)骨架密(mi)(mi)封將吸(xi)進的氣(qi)(qi)(qi)體排(pai)出來(lai)泵外(wai)。
按真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)原理，真(zhen)空(kong)泵(beng)大部分(fen)能夠分(fen)成二種種類，即(ji)氣體(ti)收集(ji)泵(beng)和氣體(ti)傳送泵(beng)。
特點
(1)在(zai)較(jiao)寬(kuan)的工作壓(ya)力范疇內有很大的泵(beng)效；
(2)轉子(zi)具備優良的幾何圖形對稱(cheng)，故震動小(xiao)，運(yun)行穩定。轉子(zi)間及轉子(zi)和(he)外殼(ke)間均有空隙，無需潤化，磨擦損(sun)害小(xiao)，可大幅(fu)度降(jiang)低推動輸出功率，進(jin)而(er)可完成較高速旋轉；
(3)泵腔內(nei)不用用食油(you)密封性和潤化，可降低油(you)蒸(zheng)汽對超(chao)濾裝置的(de)環境(jing)污染；
(4)泵(beng)腔內無縮(suo)小，無自動排氣閥。構造(zao)簡易、緊(jin)密(mi)，對被抽(chou)氣體中的(de)塵土和水蒸(zheng)氣不比較敏感；
(5)縮小較為低，對氡氣(qi)抽真空實際效果差；
(6)轉(zhuan)子表(biao)面為(wei)(wei)形狀較(jiao)為(wei)(wei)復雜的曲線柱面，加工和檢查比較(jiao)困難。
