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真空泵是指運(yun)用(yong)機械、物理、化學或物理化學的方法對被(bei)抽容器(qi)進行(xing)抽氣而獲得真空的器(qi)件或設備。
簡(jian)單而(er)言，真(zhen)空泵(beng)是用各種各樣方式在某一密閉空間中改進(jin)、造成(cheng)和(he)保持真(zhen)空泵(beng)的(de)設備。在泵(beng)腔(qiang)(qiang)內(nei)產(chan)生根據轉動造成(cheng)體(ti)(ti)積(ji)(ji)的(de)轉變 而(er)將氣(qi)(qi)體(ti)(ti)排(pai)(pai)出來泵(beng)外，主要是在吸(xi)氣(qi)(qi)過程中，吸(xi)氣(qi)(qi)腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)積(ji)(ji)擴(kuo)大，真(zhen)空值減少，將器皿(min)內(nei)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)吸(xi)進(jin)泵(beng)腔(qiang)(qiang)，在排(pai)(pai)氣(qi)(qi)管全過程中體(ti)(ti)積(ji)(ji)縮小，氣(qi)(qi)體(ti)(ti)壓強擴(kuo)大，最后根據骨架密封將吸(xi)進(jin)的(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)排(pai)(pai)出來泵(beng)外。
按真空(kong)泵(beng)的(de)原理(li)，真空(kong)泵(beng)大部分能夠分成二種(zhong)(zhong)種(zhong)(zhong)類，即氣(qi)體(ti)收(shou)集(ji)泵(beng)和氣(qi)體(ti)傳送泵(beng)。
特點
(1)在較寬的(de)工(gong)作壓力范(fan)疇內有很大的(de)泵效(xiao)；
(2)轉(zhuan)子(zi)具(ju)備優(you)良的幾何圖形(xing)對稱，故震動小(xiao)，運行穩定。轉(zhuan)子(zi)間及(ji)轉(zhuan)子(zi)和外殼(ke)間均有空隙，無(wu)需(xu)潤化，磨擦(ca)損害小(xiao)，可(ke)大幅度(du)降低推動輸(shu)出功率，進而(er)可(ke)完成較高速(su)旋轉(zhuan)；
(3)泵(beng)腔內(nei)不用用食油密封性和潤化，可降低(di)油蒸汽對超濾裝(zhuang)置的(de)環境污染；
(4)泵腔內無(wu)縮小(xiao)，無(wu)自(zi)動(dong)排氣(qi)閥。構造簡易、緊密(mi)，對被抽氣(qi)體中的塵土(tu)和水(shui)蒸氣(qi)不比較敏感；
(5)縮小較為(wei)低，對氡(dong)氣抽真空實際效果差；
(6)轉子表面為(wei)形狀較(jiao)為(wei)復(fu)雜的(de)曲線柱面，加工(gong)和檢查比較(jiao)困難。
