真空泵是指運(yun)用機械(xie)、物(wu)理、化學或(huo)物(wu)理化學的方法對(dui)被抽容(rong)器(qi)進行抽氣而(er)獲得真空的器(qi)件或(huo)設備。
簡單(dan)而言,真(zhen)(zhen)(zhen)空泵是用各(ge)種(zhong)各(ge)樣方式(shi)在(zai)某一密(mi)閉空間中改進(jin)、造成(cheng)和保持真(zhen)(zhen)(zhen)空泵的(de)設(she)備(bei)。在(zai)泵腔內產生根據轉(zhuan)動造成(cheng)體積的(de)轉(zhuan)變(bian) 而將(jiang)氣(qi)體排出來泵外,主要是在(zai)吸(xi)氣(qi)過程(cheng)中,吸(xi)氣(qi)腔體積擴(kuo)大,真(zhen)(zhen)(zhen)空值減少,將(jiang)器皿(min)內氣(qi)體吸(xi)進(jin)泵腔,在(zai)排氣(qi)管(guan)全過程(cheng)中體積縮小,氣(qi)體壓強擴(kuo)大,最后根據骨架密(mi)封(feng)將(jiang)吸(xi)進(jin)的(de)氣(qi)體排出來泵外。
按真(zhen)空(kong)泵的(de)原(yuan)理(li),真(zhen)空(kong)泵大部分(fen)能夠分(fen)成二種種類(lei),即(ji)氣(qi)體收集泵和氣(qi)體傳送泵。
特點
(1)在(zai)較寬的工作壓(ya)力范(fan)疇內有很大的泵效;
(2)轉(zhuan)子(zi)具備優良的幾何圖形對稱,故震(zhen)動(dong)(dong)小,運行穩定(ding)。轉(zhuan)子(zi)間(jian)及轉(zhuan)子(zi)和外殼間(jian)均有空隙,無需(xu)潤化,磨擦損(sun)害小,可大(da)幅度降低推(tui)動(dong)(dong)輸出(chu)功(gong)率,進而可完成較高(gao)速(su)旋轉(zhuan);
(3)泵腔內不用(yong)用(yong)食油密(mi)封(feng)性(xing)和潤化(hua),可(ke)降低油蒸(zheng)汽對超濾裝置(zhi)的環境污(wu)染;
(4)泵(beng)腔內無縮小,無自動(dong)排(pai)氣(qi)閥。構(gou)造(zao)簡易(yi)、緊密,對被抽氣(qi)體中的塵土和(he)水(shui)蒸(zheng)氣(qi)不比較敏感;
(5)縮小較為低,對氡氣(qi)抽(chou)真(zhen)空實際(ji)效(xiao)果差;
(6)轉(zhuan)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加(jia)工和檢查比較困(kun)難。