
真空泵是指(zhi)運(yun)用機械、物理、化學(xue)或物理化學(xue)的(de)方法對被抽容器進行抽氣而獲(huo)得(de)真(zhen)空的(de)器件或設備。
簡單(dan)而言,真空(kong)(kong)泵(beng)是用各種各樣(yang)方式(shi)在某一密閉(bi)空(kong)(kong)間中(zhong)(zhong)改進(jin)、造成和(he)保持(chi)真空(kong)(kong)泵(beng)的設(she)備。在泵(beng)腔(qiang)內產(chan)生根據轉(zhuan)(zhuan)動(dong)造成體積的轉(zhuan)(zhuan)變(bian) 而將(jiang)氣(qi)(qi)(qi)體排出來泵(beng)外(wai),主要是在吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)過(guo)程中(zhong)(zhong),吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)腔(qiang)體積擴大,真空(kong)(kong)值減(jian)少,將(jiang)器(qi)皿內氣(qi)(qi)(qi)體吸(xi)進(jin)泵(beng)腔(qiang),在排氣(qi)(qi)(qi)管全過(guo)程中(zhong)(zhong)體積縮小,氣(qi)(qi)(qi)體壓強(qiang)擴大,最(zui)后根據骨架密封將(jiang)吸(xi)進(jin)的氣(qi)(qi)(qi)體排出來泵(beng)外(wai)。
按真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的原理,真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)大部分能夠(gou)分成二種(zhong)種(zhong)類,即氣體收集泵(beng)(beng)(beng)和氣體傳送泵(beng)(beng)(beng)。
特點
(1)在(zai)較(jiao)寬的工作壓力范(fan)疇(chou)內有很大的泵效;
(2)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)具(ju)備優良的幾何圖形(xing)對稱,故(gu)震動小(xiao),運行穩定。轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)間(jian)及轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)和(he)外殼(ke)間(jian)均(jun)有空隙(xi),無需潤化(hua),磨擦損害(hai)小(xiao),可大幅度降低推動輸出(chu)功率,進而(er)可完成較高速旋轉(zhuan)(zhuan);
(3)泵腔內(nei)不用用食油密封性和潤化,可降(jiang)低油蒸汽對超濾裝置的環境污染;
(4)泵腔內無縮小,無自動排(pai)氣閥。構造簡易、緊密,對被抽氣體中的塵(chen)土(tu)和水蒸氣不比(bi)較敏感;
(5)縮小較(jiao)為低,對氡氣抽真(zhen)空實際效果(guo)差(cha);
(6)轉子表面為形狀較為復(fu)雜的曲(qu)線柱(zhu)面,加工(gong)和檢(jian)查(cha)比(bi)較困難。