
真空泵是指運用機械、物理(li)、化(hua)學或(huo)物理(li)化(hua)學的方法對被抽(chou)容(rong)器(qi)進(jin)行抽(chou)氣而獲(huo)得真空的器(qi)件或(huo)設(she)備。
簡單而(er)言,真空泵(beng)(beng)是(shi)用各(ge)種各(ge)樣方式在(zai)某(mou)一(yi)密閉空間中改進、造(zao)成和保持真空泵(beng)(beng)的設備(bei)。在(zai)泵(beng)(beng)腔內(nei)產生根據(ju)轉動(dong)造(zao)成體積的轉變 而(er)將氣(qi)(qi)(qi)體排出來(lai)泵(beng)(beng)外(wai),主要是(shi)在(zai)吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)過(guo)程(cheng)中,吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)腔體積擴大(da),真空值(zhi)減(jian)少,將器(qi)皿(min)內(nei)氣(qi)(qi)(qi)體吸(xi)進泵(beng)(beng)腔,在(zai)排氣(qi)(qi)(qi)管全過(guo)程(cheng)中體積縮(suo)小,氣(qi)(qi)(qi)體壓(ya)強(qiang)擴大(da),最后根據(ju)骨架密封將吸(xi)進的氣(qi)(qi)(qi)體排出來(lai)泵(beng)(beng)外(wai)。
按真空泵(beng)的(de)原理,真空泵(beng)大部分(fen)能夠分(fen)成(cheng)二種(zhong)種(zhong)類,即(ji)氣體收集泵(beng)和氣體傳送(song)泵(beng)。
特點
(1)在較寬的(de)工(gong)作壓力范疇內有很大的(de)泵效;
(2)轉(zhuan)子(zi)(zi)具備優良的幾何圖形對稱,故震動小(xiao)(xiao),運行穩定。轉(zhuan)子(zi)(zi)間及轉(zhuan)子(zi)(zi)和外殼間均有空(kong)隙,無需潤(run)化,磨擦損(sun)害小(xiao)(xiao),可大幅度降低推動輸出功率(lv),進而可完(wan)成較(jiao)高速旋轉(zhuan);
(3)泵(beng)腔內不(bu)用用食油密封性和潤化,可降低油蒸汽(qi)對超濾裝置的環境污染;
(4)泵腔內無縮(suo)小,無自動排氣(qi)閥。構造簡易、緊密,對被抽氣(qi)體中的塵土(tu)和(he)水蒸氣(qi)不比較(jiao)敏感(gan);
(5)縮小較為低,對氡氣抽真(zhen)空實(shi)際效果(guo)差(cha);
(6)轉子表面(mian)為(wei)形狀較為(wei)復雜的曲線柱面(mian),加工和檢查比較困難。