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真空泵是(shi)指(zhi)運用機械、物理、化學或(huo)物理化學的方法對被抽容器(qi)進行抽氣而獲(huo)得真空(kong)的器(qi)件或(huo)設備。
簡單而(er)言，真(zhen)空泵是用各種(zhong)各樣(yang)方(fang)式在(zai)某(mou)一密(mi)閉(bi)空間中改(gai)進(jin)、造(zao)(zao)成和保持真(zhen)空泵的(de)設備。在(zai)泵腔內(nei)(nei)產生根(gen)(gen)據轉動造(zao)(zao)成體(ti)(ti)積(ji)的(de)轉變 而(er)將氣(qi)(qi)體(ti)(ti)排(pai)出來泵外，主(zhu)要是在(zai)吸氣(qi)(qi)過程中，吸氣(qi)(qi)腔體(ti)(ti)積(ji)擴(kuo)大，真(zhen)空值(zhi)減少，將器皿內(nei)(nei)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)吸進(jin)泵腔，在(zai)排(pai)氣(qi)(qi)管全過程中體(ti)(ti)積(ji)縮小，氣(qi)(qi)體(ti)(ti)壓(ya)強擴(kuo)大，最后(hou)根(gen)(gen)據骨架(jia)密(mi)封將吸進(jin)的(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)排(pai)出來泵外。
按真(zhen)空泵(beng)的原理，真(zhen)空泵(beng)大部分能夠分成(cheng)二種種類，即氣體收集(ji)泵(beng)和(he)氣體傳(chuan)送(song)泵(beng)。
特點
(1)在較寬的工作壓力范疇內有很(hen)大的泵效；
(2)轉(zhuan)(zhuan)子具備優良的幾何圖形對稱，故震動小，運行穩(wen)定。轉(zhuan)(zhuan)子間(jian)及轉(zhuan)(zhuan)子和外殼(ke)間(jian)均有空隙，無需(xu)潤化，磨(mo)擦損害小，可大幅度降低推動輸出功率，進而可完成較(jiao)高(gao)速旋轉(zhuan)(zhuan)；
(3)泵腔內不(bu)用(yong)用(yong)食油密封性和潤(run)化，可降低油蒸汽對(dui)超濾裝置的環境污染(ran)；
(4)泵腔內無(wu)縮小，無(wu)自動(dong)排氣閥。構造簡易、緊密，對被抽(chou)氣體中(zhong)的塵土和水蒸氣不比(bi)較敏(min)感(gan)；
(5)縮小較為低，對氡氣抽真空(kong)實際(ji)效果差；
(6)轉(zhuan)子表面為形狀較為復雜的(de)曲線(xian)柱面，加工和檢查比較困難。
