真空泵是指(zhi)運用(yong)機械、物理(li)、化學或(huo)物理(li)化學的(de)方法對被抽(chou)容器進行抽(chou)氣而獲得真(zhen)空的(de)器件(jian)或(huo)設(she)備(bei)。
簡單而言(yan),真空泵(beng)(beng)是用各種(zhong)各樣方式在(zai)(zai)某一密(mi)(mi)閉空間(jian)中改進、造成(cheng)和保持(chi)真空泵(beng)(beng)的(de)設備(bei)。在(zai)(zai)泵(beng)(beng)腔內產生(sheng)根(gen)據轉動造成(cheng)體(ti)(ti)(ti)積的(de)轉變(bian) 而將氣(qi)體(ti)(ti)(ti)排(pai)出來(lai)泵(beng)(beng)外(wai),主要是在(zai)(zai)吸氣(qi)過程中,吸氣(qi)腔體(ti)(ti)(ti)積擴大,真空值減少(shao),將器(qi)皿(min)內氣(qi)體(ti)(ti)(ti)吸進泵(beng)(beng)腔,在(zai)(zai)排(pai)氣(qi)管全(quan)過程中體(ti)(ti)(ti)積縮小(xiao),氣(qi)體(ti)(ti)(ti)壓(ya)強擴大,最后根(gen)據骨架密(mi)(mi)封將吸進的(de)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)排(pai)出來(lai)泵(beng)(beng)外(wai)。
按(an)真空泵的原理,真空泵大部分能(neng)夠(gou)分成二種種類,即氣體收(shou)集(ji)泵和氣體傳(chuan)送泵。
特點
(1)在(zai)較寬(kuan)的工作壓(ya)力范疇內有很大(da)的泵效;
(2)轉(zhuan)(zhuan)子具備(bei)優(you)良的幾何圖形對稱,故震動(dong)小(xiao),運行穩定。轉(zhuan)(zhuan)子間(jian)及轉(zhuan)(zhuan)子和外殼間(jian)均有空隙(xi),無需(xu)潤化,磨擦損害小(xiao),可大幅度(du)降低推動(dong)輸出功率(lv),進而可完成較高速旋轉(zhuan)(zhuan);
(3)泵腔內不用(yong)用(yong)食油密封性和潤化,可降低油蒸汽對超濾裝置(zhi)的環境(jing)污染;
(4)泵(beng)腔內無縮小,無自動排(pai)氣(qi)閥。構造簡易、緊密(mi),對(dui)被抽氣(qi)體中的塵土和水蒸氣(qi)不比較敏感;
(5)縮小較為低,對氡氣抽真空實際效果差;
(6)轉子表面為形狀較為復雜(za)的曲線柱面,加工(gong)和(he)檢(jian)查比較困(kun)難(nan)。