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真空泵是指運(yun)用機(ji)械、物理(li)、化學或(huo)(huo)物理(li)化學的(de)方法對被抽容器(qi)進行抽氣而獲得真空的(de)器(qi)件或(huo)(huo)設備。
簡單而(er)言，真空泵(beng)是(shi)用(yong)各種各樣方(fang)式(shi)在(zai)(zai)某一密閉空間(jian)中(zhong)(zhong)改進、造成和保持(chi)真空泵(beng)的(de)設備。在(zai)(zai)泵(beng)腔內(nei)產生根(gen)據(ju)(ju)轉動造成體(ti)(ti)積(ji)(ji)的(de)轉變 而(er)將(jiang)氣體(ti)(ti)排出來(lai)泵(beng)外(wai)，主要是(shi)在(zai)(zai)吸氣過(guo)程中(zhong)(zhong)，吸氣腔體(ti)(ti)積(ji)(ji)擴(kuo)大(da)，真空值減(jian)少，將(jiang)器(qi)皿內(nei)氣體(ti)(ti)吸進泵(beng)腔，在(zai)(zai)排氣管全過(guo)程中(zhong)(zhong)體(ti)(ti)積(ji)(ji)縮小，氣體(ti)(ti)壓(ya)強擴(kuo)大(da)，最后根(gen)據(ju)(ju)骨架密封將(jiang)吸進的(de)氣體(ti)(ti)排出來(lai)泵(beng)外(wai)。
按(an)真(zhen)空泵(beng)的原理，真(zhen)空泵(beng)大部(bu)分能夠分成二種種類，即氣體收(shou)集泵(beng)和氣體傳送泵(beng)。
特點
(1)在(zai)較寬的工作壓(ya)力(li)范疇(chou)內有很大的泵效；
(2)轉子具備優良(liang)的幾何圖形(xing)對稱，故震動小(xiao)，運行穩定。轉子間及轉子和外殼間均有空隙，無需潤化(hua)，磨擦損害(hai)小(xiao)，可大幅度降(jiang)低推動輸出功率(lv)，進而(er)可完(wan)成較高速(su)旋轉；
(3)泵腔內不用(yong)用(yong)食油密封性和潤(run)化，可降低油蒸汽對超濾裝(zhuang)置(zhi)的環境污染(ran)；
(4)泵腔內無縮(suo)小，無自動排(pai)氣閥。構(gou)造(zao)簡易(yi)、緊密，對(dui)被(bei)抽氣體中(zhong)的塵土和水蒸氣不比較敏感；
(5)縮小較為低，對氡氣抽(chou)真(zhen)空實際(ji)效果差；
(6)轉(zhuan)子表面為形狀(zhuang)較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。
