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真空泵是指運用機械、物理、化學(xue)或物理化學(xue)的(de)方法(fa)對(dui)被(bei)抽(chou)容器(qi)進行抽(chou)氣而(er)獲得真空的(de)器(qi)件(jian)或設備。
簡單而言，真(zhen)空泵是(shi)(shi)用各種各樣(yang)方式在(zai)某一密閉空間中改進(jin)、造(zao)成和保持真(zhen)空泵的(de)設備(bei)。在(zai)泵腔內(nei)產生根據轉動造(zao)成體(ti)積(ji)的(de)轉變 而將(jiang)氣(qi)(qi)體(ti)排出(chu)來泵外，主要是(shi)(shi)在(zai)吸(xi)(xi)氣(qi)(qi)過程(cheng)中，吸(xi)(xi)氣(qi)(qi)腔體(ti)積(ji)擴(kuo)大(da)，真(zhen)空值減少，將(jiang)器(qi)皿內(nei)氣(qi)(qi)體(ti)吸(xi)(xi)進(jin)泵腔，在(zai)排氣(qi)(qi)管全過程(cheng)中體(ti)積(ji)縮小，氣(qi)(qi)體(ti)壓強擴(kuo)大(da)，最后根據骨架密封將(jiang)吸(xi)(xi)進(jin)的(de)氣(qi)(qi)體(ti)排出(chu)來泵外。
按真空泵(beng)的原(yuan)理(li)，真空泵(beng)大部分能(neng)夠(gou)分成二(er)種種類，即氣(qi)(qi)體收集(ji)泵(beng)和氣(qi)(qi)體傳送泵(beng)。
特點
(1)在較(jiao)寬的工作壓力范(fan)疇(chou)內有很(hen)大(da)的泵效；
(2)轉子(zi)具備(bei)優(you)良的幾(ji)何圖(tu)形對稱，故震動(dong)小(xiao)，運行(xing)穩定。轉子(zi)間(jian)及(ji)轉子(zi)和(he)外殼間(jian)均有空隙，無(wu)需(xu)潤化，磨擦損害(hai)小(xiao)，可(ke)大幅度(du)降低推動(dong)輸出功率(lv)，進(jin)而(er)可(ke)完成較高速(su)旋轉；
(3)泵腔內(nei)不用用食油密(mi)封性(xing)和潤(run)化，可降低油蒸汽對超濾裝置的環境污染；
(4)泵腔內無(wu)縮小(xiao)，無(wu)自(zi)動排氣閥。構造簡易、緊密(mi)，對被抽(chou)氣體中(zhong)的(de)塵土和水(shui)蒸氣不比較敏感；
(5)縮(suo)小較為低，對氡氣抽真空實際效(xiao)果差；
(6)轉子表(biao)面(mian)(mian)為形狀較為復雜的曲線柱面(mian)(mian)，加工和檢(jian)查比較困難。
