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真空泵是(shi)指運用機械、物理、化(hua)學(xue)或物理化(hua)學(xue)的方法對被抽(chou)容器進行抽(chou)氣而(er)獲得真空的器件或設備。
簡單(dan)而言，真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)是(shi)用各(ge)種各(ge)樣方式在(zai)(zai)某(mou)一密閉(bi)空間中(zhong)改進、造成和保持真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)的設(she)備。在(zai)(zai)泵(beng)(beng)(beng)腔內(nei)產生根據轉(zhuan)動造成體積的轉(zhuan)變(bian) 而將氣體排(pai)(pai)出(chu)來泵(beng)(beng)(beng)外，主(zhu)要是(shi)在(zai)(zai)吸氣過程中(zhong)，吸氣腔體積擴大(da)，真(zhen)空值減少，將器(qi)皿(min)內(nei)氣體吸進泵(beng)(beng)(beng)腔，在(zai)(zai)排(pai)(pai)氣管全過程中(zhong)體積縮小，氣體壓強擴大(da)，最(zui)后(hou)根據骨架密封將吸進的氣體排(pai)(pai)出(chu)來泵(beng)(beng)(beng)外。
按真空泵(beng)的(de)原理，真空泵(beng)大部分能(neng)夠分成二種種類，即氣體(ti)收集(ji)泵(beng)和氣體(ti)傳送泵(beng)。
特點
(1)在(zai)較寬(kuan)的(de)工(gong)作(zuo)壓力范疇(chou)內有很大的(de)泵效；
(2)轉(zhuan)子(zi)具備(bei)優良的幾何圖(tu)形(xing)對(dui)稱，故震動小，運行穩定。轉(zhuan)子(zi)間及轉(zhuan)子(zi)和外殼間均(jun)有空隙，無需潤化(hua)，磨擦損害小，可大幅(fu)度降低(di)推動輸出功率，進(jin)而可完成較高速旋轉(zhuan)；
(3)泵(beng)腔內不用用食油密封性和(he)潤化，可降(jiang)低油蒸汽對超濾裝置的環(huan)境污染；
(4)泵(beng)腔內無縮(suo)小(xiao)，無自動排氣(qi)閥。構造(zao)簡易(yi)、緊密，對被抽(chou)氣(qi)體中的塵(chen)土(tu)和水蒸氣(qi)不比較敏感；
(5)縮小較(jiao)為低，對氡(dong)氣抽真空實際效果差；
(6)轉子表面(mian)為形狀較為復(fu)雜的曲線(xian)柱面(mian)，加工和檢查比較困難。
