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真空泵是(shi)指運(yun)用(yong)機(ji)械、物理、化學或(huo)物理化學的(de)方(fang)法對被抽(chou)容器進行抽(chou)氣(qi)而(er)獲得真空的(de)器件或(huo)設備。
簡單(dan)而言(yan)，真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)是(shi)用(yong)各種各樣方式在某一(yi)密閉空(kong)間中(zhong)改進、造(zao)成和(he)保持真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的設備。在泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang)內產生根(gen)據(ju)轉(zhuan)動(dong)造(zao)成體(ti)積的轉(zhuan)變 而將氣(qi)體(ti)排(pai)出來泵(beng)(beng)(beng)外，主(zhu)要是(shi)在吸氣(qi)過程中(zhong)，吸氣(qi)腔(qiang)體(ti)積擴大(da)，真空(kong)值(zhi)減少，將器皿內氣(qi)體(ti)吸進泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang)，在排(pai)氣(qi)管全過程中(zhong)體(ti)積縮小，氣(qi)體(ti)壓強(qiang)擴大(da)，最后根(gen)據(ju)骨架密封將吸進的氣(qi)體(ti)排(pai)出來泵(beng)(beng)(beng)外。
按(an)真空泵的原理，真空泵大部分(fen)能夠分(fen)成二(er)種(zhong)種(zhong)類(lei)，即氣(qi)體收集泵和氣(qi)體傳(chuan)送(song)泵。
特點
(1)在較(jiao)寬的工作壓力(li)范疇(chou)內有很大(da)的泵效(xiao)；
(2)轉(zhuan)子具備優良的(de)幾(ji)何圖形對稱，故震動小(xiao)，運行穩定。轉(zhuan)子間及(ji)轉(zhuan)子和(he)外殼間均有(you)空隙，無需潤(run)化，磨擦損害小(xiao)，可(ke)大幅(fu)度降低推動輸(shu)出功率(lv)，進(jin)而可(ke)完成較(jiao)高速旋轉(zhuan)；
(3)泵腔(qiang)內不(bu)用用食油(you)密封性和潤化，可降(jiang)低油(you)蒸汽對(dui)超濾(lv)裝置的環境污染；
(4)泵腔內無縮小(xiao)，無自動排(pai)氣(qi)閥。構(gou)造簡易、緊密，對被抽氣(qi)體(ti)中的塵土和水蒸(zheng)氣(qi)不比較敏感(gan)；
(5)縮小較(jiao)為低，對氡(dong)氣抽真空(kong)實際效果差(cha)；
(6)轉(zhuan)子表面為(wei)形狀較(jiao)(jiao)為(wei)復雜的曲線柱面，加工和檢查(cha)比(bi)較(jiao)(jiao)困(kun)難。
