真空泵是指運用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽(chou)容(rong)器進行(xing)抽(chou)氣而獲(huo)得真空的器件(jian)或設備。

簡單而言，真空(kong)泵(beng)(beng)是(shi)用各種(zhong)各樣方式在(zai)某(mou)一密(mi)閉空(kong)間中改進(jin)、造成和保持真空(kong)泵(beng)(beng)的(de)設備(bei)。在(zai)泵(beng)(beng)腔(qiang)內產生根據轉(zhuan)動造成體(ti)積(ji)的(de)轉(zhuan)變 而將(jiang)氣(qi)體(ti)排出來泵(beng)(beng)外(wai)(wai)，主要是(shi)在(zai)吸氣(qi)過程中，吸氣(qi)腔(qiang)體(ti)積(ji)擴大(da)，真空(kong)值(zhi)減少，將(jiang)器(qi)皿內氣(qi)體(ti)吸進(jin)泵(beng)(beng)腔(qiang)，在(zai)排氣(qi)管全過程中體(ti)積(ji)縮(suo)小，氣(qi)體(ti)壓(ya)強擴大(da)，最后(hou)根據骨架密(mi)封(feng)將(jiang)吸進(jin)的(de)氣(qi)體(ti)排出來泵(beng)(beng)外(wai)(wai)。

按(an)真(zhen)空泵(beng)的原(yuan)理，真(zhen)空泵(beng)大部分能夠分成(cheng)二(er)種種類，即氣(qi)體收集泵(beng)和(he)氣(qi)體傳(chuan)送泵(beng)。

特點

(1)在較寬的工作壓力(li)范疇內有很大的泵效；

(2)轉子(zi)具備優(you)良的幾(ji)何圖形對稱，故震動(dong)小，運行穩(wen)定(ding)。轉子(zi)間(jian)及轉子(zi)和外殼間(jian)均有空(kong)隙，無需潤(run)化(hua)，磨擦損害小，可大幅度降低推動(dong)輸出功率(lv)，進而可完成(cheng)較高速旋轉；

(3)泵腔內(nei)不(bu)用(yong)(yong)用(yong)(yong)食油(you)密封性和潤化，可降低油(you)蒸汽對超濾(lv)裝置的環(huan)境污(wu)染(ran)；

(4)泵腔內無縮(suo)小，無自動排氣閥(fa)。構造簡易(yi)、緊密，對(dui)被抽氣體中的塵(chen)土和水蒸氣不比(bi)較(jiao)敏感；

(5)縮小較為低，對氡氣抽真空實際(ji)效(xiao)果差；

(6)轉(zhuan)子表面為(wei)形狀(zhuang)較(jiao)為(wei)復雜的曲線柱面，加工和檢查比較(jiao)困難。