真空泵是指運(yun)用機(ji)械、物理、化學或(huo)(huo)物理化學的方法(fa)對被抽容器進(jin)行抽氣而(er)獲得真空的器件或(huo)(huo)設備。
簡單而言,真空泵(beng)是用(yong)各種各樣(yang)方式在(zai)(zai)某(mou)一(yi)密(mi)閉(bi)空間(jian)中改進、造(zao)成(cheng)和保持真空泵(beng)的(de)設備。在(zai)(zai)泵(beng)腔內產(chan)生(sheng)根據轉動造(zao)成(cheng)體(ti)積的(de)轉變 而將(jiang)氣(qi)體(ti)排(pai)(pai)出來(lai)泵(beng)外,主要(yao)是在(zai)(zai)吸氣(qi)過程(cheng)中,吸氣(qi)腔體(ti)積擴大(da),真空值減少,將(jiang)器皿內氣(qi)體(ti)吸進泵(beng)腔,在(zai)(zai)排(pai)(pai)氣(qi)管全過程(cheng)中體(ti)積縮小,氣(qi)體(ti)壓強擴大(da),最(zui)后根據骨架(jia)密(mi)封將(jiang)吸進的(de)氣(qi)體(ti)排(pai)(pai)出來(lai)泵(beng)外。
按(an)真空泵(beng)的原理(li),真空泵(beng)大(da)部分能(neng)夠分成二種種類,即氣體收集泵(beng)和(he)氣體傳送泵(beng)。
特點
(1)在(zai)較寬的工作壓力范(fan)疇內有很大的泵(beng)效;
(2)轉(zhuan)子(zi)(zi)具備(bei)優良的幾何圖形對稱,故(gu)震動(dong)小(xiao)(xiao),運行(xing)穩定。轉(zhuan)子(zi)(zi)間及(ji)轉(zhuan)子(zi)(zi)和外殼間均有(you)空隙(xi),無需潤化(hua),磨擦損害小(xiao)(xiao),可(ke)大幅度降低推(tui)動(dong)輸出功率,進而可(ke)完成較(jiao)高速(su)旋轉(zhuan);
(3)泵腔內不用用食(shi)油密封性(xing)和潤化,可降低油蒸(zheng)汽(qi)對超濾(lv)裝置的環境污(wu)染;
(4)泵腔內無縮小,無自動(dong)排(pai)氣閥。構(gou)造(zao)簡易(yi)、緊密,對被(bei)抽氣體中(zhong)的塵土和水(shui)蒸氣不比較(jiao)敏感;
(5)縮(suo)小較(jiao)為(wei)低,對氡氣(qi)抽真空實際(ji)效果差;
(6)轉子(zi)表面(mian)為形狀(zhuang)較(jiao)為復(fu)雜的(de)曲線柱面(mian),加工和檢查比較(jiao)困難(nan)。