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真空泵是指運用(yong)機械、物理、化學或(huo)(huo)物理化學的方法對被抽(chou)容(rong)器(qi)進行抽(chou)氣而獲得真(zhen)空的器(qi)件或(huo)(huo)設備。
簡(jian)單而言，真(zhen)空泵是用各種各樣方(fang)式在某一密閉空間(jian)中(zhong)改進(jin)、造(zao)成和保持(chi)真(zhen)空泵的設(she)備(bei)。在泵腔(qiang)內(nei)產生根(gen)據轉動造(zao)成體(ti)(ti)積(ji)的轉變 而將氣(qi)體(ti)(ti)排出來泵外，主要是在吸氣(qi)過(guo)程中(zhong)，吸氣(qi)腔(qiang)體(ti)(ti)積(ji)擴(kuo)大(da)(da)，真(zhen)空值減(jian)少，將器皿內(nei)氣(qi)體(ti)(ti)吸進(jin)泵腔(qiang)，在排氣(qi)管(guan)全過(guo)程中(zhong)體(ti)(ti)積(ji)縮小，氣(qi)體(ti)(ti)壓強(qiang)擴(kuo)大(da)(da)，最(zui)后根(gen)據骨架密封將吸進(jin)的氣(qi)體(ti)(ti)排出來泵外。
按真空泵的原理，真空泵大部分(fen)(fen)能夠分(fen)(fen)成二種種類，即氣(qi)體收(shou)集(ji)泵和氣(qi)體傳送泵。
特點
(1)在較寬的(de)工作壓力(li)范疇內有很大(da)的(de)泵效；
(2)轉子具備(bei)優良的幾何圖形對稱，故震動小，運行穩(wen)定。轉子間及轉子和外殼間均(jun)有(you)空隙，無需潤(run)化，磨擦損害小，可大幅度降(jiang)低推(tui)動輸(shu)出(chu)功率(lv)，進而可完(wan)成(cheng)較高速旋轉；
(3)泵腔內不用用食油(you)密封(feng)性和潤化，可降低油(you)蒸汽對超濾裝置的環境污染；
(4)泵腔內無縮小(xiao)，無自動排氣(qi)閥。構造(zao)簡(jian)易、緊密，對被(bei)抽(chou)氣(qi)體中的(de)塵土和水(shui)蒸氣(qi)不(bu)比較敏感；
(5)縮小較(jiao)為低(di)，對氡氣抽真(zhen)空實際效果差；
(6)轉子表(biao)面(mian)為形狀較為復雜的曲線柱面(mian)，加工和檢查比較困難(nan)。
