
真空泵是指運用機械、物理(li)、化學(xue)(xue)或物理(li)化學(xue)(xue)的(de)方(fang)法(fa)對被(bei)抽(chou)容器(qi)(qi)進行抽(chou)氣而獲得真空的(de)器(qi)(qi)件或設備。
簡單而(er)言,真空泵是用各種各樣方式在某一密閉空間(jian)中改進、造(zao)成(cheng)和保持(chi)真空泵的設備。在泵腔(qiang)內產生根(gen)據轉(zhuan)動(dong)造(zao)成(cheng)體(ti)(ti)(ti)積(ji)的轉(zhuan)變 而(er)將(jiang)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)排(pai)出來泵外,主(zhu)要是在吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)過程中,吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)腔(qiang)體(ti)(ti)(ti)積(ji)擴(kuo)大,真空值減少,將(jiang)器皿內氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)吸(xi)進泵腔(qiang),在排(pai)氣(qi)(qi)(qi)管全過程中體(ti)(ti)(ti)積(ji)縮小,氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)壓強(qiang)擴(kuo)大,最后(hou)根(gen)據骨架密封將(jiang)吸(xi)進的氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)排(pai)出來泵外。
按(an)真(zhen)空泵(beng)(beng)的原理,真(zhen)空泵(beng)(beng)大(da)部分能夠分成(cheng)二種(zhong)種(zhong)類,即氣體收集泵(beng)(beng)和氣體傳送(song)泵(beng)(beng)。
特點
(1)在較寬的工(gong)作壓力范(fan)疇(chou)內有很大(da)的泵(beng)效;
(2)轉子(zi)具備優良的(de)幾何圖形對稱,故震動(dong)小,運行穩定。轉子(zi)間及轉子(zi)和(he)外(wai)殼(ke)間均有空隙,無需潤(run)化(hua),磨(mo)擦損害小,可(ke)大幅度降(jiang)低推動(dong)輸出功率,進(jin)而可(ke)完成較高(gao)速旋轉;
(3)泵腔(qiang)內不用用食油(you)密(mi)封性和潤化(hua),可降低油(you)蒸(zheng)汽對超濾裝置的環境污染;
(4)泵腔(qiang)內無縮小,無自動排氣閥。構造簡易、緊密,對(dui)被抽氣體(ti)中的塵(chen)土和(he)水蒸氣不(bu)比較敏感;
(5)縮小較(jiao)為低,對氡氣抽真空實際效果差(cha);
(6)轉子表面(mian)為形狀較為復雜的曲線柱面(mian),加工和檢查比較困難。