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真空泵是指(zhi)運用機械、物理、化學或物理化學的(de)方法對被抽(chou)(chou)容器進行抽(chou)(chou)氣(qi)而獲得真(zhen)空(kong)的(de)器件或設備(bei)。
簡單(dan)而言，真空泵(beng)(beng)是(shi)用各種各樣方式在(zai)(zai)某一(yi)密(mi)閉空間中改(gai)進、造(zao)成和保持真空泵(beng)(beng)的(de)設備。在(zai)(zai)泵(beng)(beng)腔(qiang)內產生根據(ju)轉動(dong)造(zao)成體(ti)積(ji)(ji)的(de)轉變(bian) 而將(jiang)氣(qi)體(ti)排出來(lai)泵(beng)(beng)外(wai)，主要是(shi)在(zai)(zai)吸氣(qi)過(guo)程(cheng)(cheng)中，吸氣(qi)腔(qiang)體(ti)積(ji)(ji)擴(kuo)大(da)，真空值減(jian)少(shao)，將(jiang)器皿(min)內氣(qi)體(ti)吸進泵(beng)(beng)腔(qiang)，在(zai)(zai)排氣(qi)管全(quan)過(guo)程(cheng)(cheng)中體(ti)積(ji)(ji)縮(suo)小，氣(qi)體(ti)壓強(qiang)擴(kuo)大(da)，最后根據(ju)骨(gu)架密(mi)封將(jiang)吸進的(de)氣(qi)體(ti)排出來(lai)泵(beng)(beng)外(wai)。
按真(zhen)空泵(beng)(beng)的原理(li)，真(zhen)空泵(beng)(beng)大部分能夠分成二種種類，即氣體收集泵(beng)(beng)和氣體傳(chuan)送(song)泵(beng)(beng)。
特點
(1)在(zai)較寬的工(gong)作壓力范疇內有很(hen)大的泵效；
(2)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)具備優(you)良(liang)的幾(ji)何圖(tu)形對稱，故震動小，運行穩定。轉(zhuan)(zhuan)子(zi)間及轉(zhuan)(zhuan)子(zi)和(he)外殼間均有空隙，無需潤化，磨擦損害小，可大幅度降低推動輸出功率(lv)，進而可完成較(jiao)高速旋轉(zhuan)(zhuan)；
(3)泵腔內(nei)不用(yong)用(yong)食(shi)油密封性和潤(run)化，可降低油蒸汽對(dui)超(chao)濾裝(zhuang)置(zhi)的環境污染；
(4)泵(beng)腔內(nei)無(wu)縮小，無(wu)自(zi)動排(pai)氣閥。構造簡(jian)易、緊密，對被抽氣體中的塵土和水(shui)蒸氣不比較敏感；
(5)縮小較為低，對氡氣抽真空實際效果(guo)差；
(6)轉子表面為(wei)形狀較為(wei)復雜(za)的曲線柱面，加工和檢查比較困難。
