真空泵是(shi)指運用機(ji)械、物理、化(hua)(hua)學或(huo)物理化(hua)(hua)學的方法對被抽容器進行抽氣而(er)獲得真空的器件或(huo)設備。
簡單而言,真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)是用各種各樣方式在(zai)某一密(mi)閉空(kong)間中(zhong)改進(jin)、造成和保(bao)持真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)設備。在(zai)泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang)內(nei)產生根(gen)(gen)據轉動造成體(ti)(ti)(ti)積的(de)轉變 而將氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)排出來(lai)(lai)泵(beng)(beng)(beng)外(wai),主要(yao)是在(zai)吸氣(qi)(qi)過(guo)程(cheng)中(zhong),吸氣(qi)(qi)腔(qiang)體(ti)(ti)(ti)積擴(kuo)大,真(zhen)空(kong)值減少,將器皿內(nei)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)吸進(jin)泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang),在(zai)排氣(qi)(qi)管(guan)全(quan)過(guo)程(cheng)中(zhong)體(ti)(ti)(ti)積縮小,氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)壓強擴(kuo)大,最后根(gen)(gen)據骨架密(mi)封將吸進(jin)的(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)排出來(lai)(lai)泵(beng)(beng)(beng)外(wai)。
按真空泵(beng)的原理,真空泵(beng)大部分能(neng)夠分成二種種類,即(ji)氣體收集泵(beng)和氣體傳送泵(beng)。
特點
(1)在較寬的工(gong)作壓力范疇內有很大的泵效;
(2)轉子具備優(you)良的(de)幾(ji)何(he)圖形對稱,故震動小(xiao)(xiao),運(yun)行穩定。轉子間及轉子和外殼(ke)間均有(you)空隙,無需(xu)潤化,磨擦損害小(xiao)(xiao),可(ke)大幅度降低推(tui)動輸出(chu)功率,進而可(ke)完成較高速(su)旋轉;
(3)泵(beng)腔內不(bu)用用食油密封(feng)性和潤化,可降低(di)油蒸(zheng)汽對超(chao)濾裝置的環境(jing)污染;
(4)泵腔內無縮(suo)小,無自動排氣閥。構造簡(jian)易(yi)、緊密,對被抽氣體中的塵(chen)土和水蒸氣不比較(jiao)敏(min)感;
(5)縮(suo)小較為低,對氡(dong)氣抽真空實際效果差(cha);
(6)轉(zhuan)子表(biao)面(mian)為形狀(zhuang)較(jiao)為復(fu)雜(za)的曲線柱面(mian),加工和檢查比(bi)較(jiao)困難。