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真空泵是指運用機(ji)械、物理(li)、化(hua)學或物理(li)化(hua)學的方法對被抽容器進行抽氣而(er)獲(huo)得真空的器件或設(she)備。
簡單而言(yan)，真(zhen)空(kong)泵(beng)是用各(ge)種各(ge)樣方式(shi)在(zai)某(mou)一(yi)密閉空(kong)間中改進(jin)、造成和保持(chi)真(zhen)空(kong)泵(beng)的設(she)備。在(zai)泵(beng)腔(qiang)內產生根據(ju)轉(zhuan)(zhuan)動造成體(ti)積的轉(zhuan)(zhuan)變 而將(jiang)氣(qi)體(ti)排出來(lai)泵(beng)外(wai)，主要是在(zai)吸(xi)氣(qi)過程中，吸(xi)氣(qi)腔(qiang)體(ti)積擴大，真(zhen)空(kong)值減少，將(jiang)器(qi)皿內氣(qi)體(ti)吸(xi)進(jin)泵(beng)腔(qiang)，在(zai)排氣(qi)管全過程中體(ti)積縮小，氣(qi)體(ti)壓(ya)強擴大，最(zui)后根據(ju)骨架密封(feng)將(jiang)吸(xi)進(jin)的氣(qi)體(ti)排出來(lai)泵(beng)外(wai)。
按真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)的原理，真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)大部分(fen)能夠(gou)分(fen)成二種(zhong)種(zhong)類(lei)，即氣體收集泵(beng)和氣體傳送泵(beng)。
特點
(1)在較寬的工(gong)作(zuo)壓力范疇內有很大的泵(beng)效(xiao)；
(2)轉(zhuan)子(zi)(zi)具備(bei)優良的幾何圖(tu)形對稱，故(gu)震動小，運行(xing)穩定。轉(zhuan)子(zi)(zi)間及(ji)轉(zhuan)子(zi)(zi)和外殼間均有空隙，無需潤化(hua)，磨擦(ca)損害(hai)小，可(ke)大幅度降(jiang)低推(tui)動輸出功率，進而可(ke)完成較高速旋轉(zhuan)；
(3)泵(beng)腔內(nei)不用用食油密封性(xing)和潤(run)化，可(ke)降低油蒸汽(qi)對超(chao)濾裝置的環境(jing)污(wu)染(ran)；
(4)泵腔內無(wu)(wu)縮小，無(wu)(wu)自(zi)動排氣(qi)閥。構(gou)造(zao)簡易、緊密，對被抽氣(qi)體中的(de)塵土和水蒸氣(qi)不比較敏(min)感；
(5)縮小較為低，對氡(dong)氣抽真空實際(ji)效(xiao)果差；
(6)轉子表面(mian)(mian)為形狀較(jiao)為復雜的(de)曲線柱面(mian)(mian)，加工和(he)檢查比(bi)較(jiao)困難。
