
真空泵是指運(yun)用機械、物理、化(hua)學(xue)或(huo)物理化(hua)學(xue)的方法對被(bei)抽容(rong)器進行抽氣(qi)而獲得真空的器件或(huo)設備。
簡單而言,真空(kong)泵是(shi)用各種各樣方式在某一密(mi)閉空(kong)間中改進(jin)、造(zao)成和保持真空(kong)泵的(de)設備(bei)。在泵腔(qiang)內產生根(gen)據(ju)轉(zhuan)動造(zao)成體積(ji)的(de)轉(zhuan)變(bian) 而將(jiang)氣(qi)(qi)(qi)體排(pai)出來泵外,主要是(shi)在吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)過程(cheng)中,吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)腔(qiang)體積(ji)擴大(da),真空(kong)值減(jian)少,將(jiang)器皿內氣(qi)(qi)(qi)體吸(xi)進(jin)泵腔(qiang),在排(pai)氣(qi)(qi)(qi)管全過程(cheng)中體積(ji)縮小,氣(qi)(qi)(qi)體壓強擴大(da),最后(hou)根(gen)據(ju)骨(gu)架(jia)密(mi)封(feng)將(jiang)吸(xi)進(jin)的(de)氣(qi)(qi)(qi)體排(pai)出來泵外。
按真空(kong)泵(beng)(beng)的原理,真空(kong)泵(beng)(beng)大部分(fen)能夠分(fen)成二(er)種種類,即氣體收(shou)集泵(beng)(beng)和(he)氣體傳送泵(beng)(beng)。
特點
(1)在(zai)較寬的(de)工(gong)作壓(ya)力范疇(chou)內有很大(da)的(de)泵效;
(2)轉子(zi)具備(bei)優良的幾何圖形對稱,故震(zhen)動(dong)小(xiao)(xiao),運行穩定(ding)。轉子(zi)間及轉子(zi)和外(wai)殼間均有空隙,無需潤化,磨擦損害小(xiao)(xiao),可(ke)(ke)大幅度(du)降低推動(dong)輸(shu)出功率,進(jin)而可(ke)(ke)完成較高速旋轉;
(3)泵(beng)腔(qiang)內不用用食(shi)油(you)密(mi)封性和潤化,可降低油(you)蒸汽對超濾(lv)裝(zhuang)置的環境污染;
(4)泵腔內無(wu)(wu)縮小,無(wu)(wu)自動排氣閥。構造簡易(yi)、緊密,對(dui)被抽氣體中的塵土和(he)水(shui)蒸(zheng)氣不(bu)比較敏感;
(5)縮小較為低,對氡氣抽真空實際效(xiao)果差;
(6)轉(zhuan)子表面為形狀較(jiao)為復雜(za)的曲線柱面,加(jia)工和檢查比(bi)較(jiao)困難(nan)。