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真空泵是指運用機械、物(wu)理、化學(xue)(xue)或(huo)物(wu)理化學(xue)(xue)的方法對(dui)被抽(chou)容器進行抽(chou)氣而獲得(de)真空的器件或(huo)設(she)備。
簡單而言，真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)是用各(ge)(ge)種各(ge)(ge)樣方式在某一密閉空(kong)間(jian)中(zhong)(zhong)(zhong)改進(jin)、造(zao)成和保持真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的設備。在泵(beng)(beng)腔內產生根據轉動造(zao)成體積的轉變 而將(jiang)氣(qi)體排出來泵(beng)(beng)外(wai)，主要是在吸(xi)(xi)氣(qi)過程中(zhong)(zhong)(zhong)，吸(xi)(xi)氣(qi)腔體積擴大，真(zhen)空(kong)值減少，將(jiang)器皿內氣(qi)體吸(xi)(xi)進(jin)泵(beng)(beng)腔，在排氣(qi)管全過程中(zhong)(zhong)(zhong)體積縮小，氣(qi)體壓強擴大，最后根據骨架密封將(jiang)吸(xi)(xi)進(jin)的氣(qi)體排出來泵(beng)(beng)外(wai)。
按真(zhen)空泵的(de)原(yuan)理，真(zhen)空泵大部(bu)分能夠分成二種種類，即氣體收集泵和氣體傳送泵。
特點
(1)在較寬的(de)工作壓力范疇內有很大(da)的(de)泵效；
(2)轉子(zi)具(ju)備(bei)優良的幾何圖(tu)形對稱，故震動小，運(yun)行穩定(ding)。轉子(zi)間及(ji)轉子(zi)和外殼間均(jun)有空隙(xi)，無(wu)需(xu)潤化，磨擦損害小，可大(da)幅度降低推動輸出功(gong)率，進而(er)可完成較高速旋(xuan)轉；
(3)泵腔內不(bu)用(yong)用(yong)食油密封性和潤化，可降(jiang)低油蒸汽對超(chao)濾裝置(zhi)的環境(jing)污(wu)染；
(4)泵(beng)腔內無縮小，無自動排氣(qi)(qi)閥。構造簡易、緊密(mi)，對被抽氣(qi)(qi)體中的塵土和(he)水(shui)蒸氣(qi)(qi)不比較敏感；
(5)縮小較為低(di)，對氡氣抽(chou)真空實際效果差；
(6)轉子表面(mian)為形狀(zhuang)較為復雜的曲線柱面(mian)，加工和檢查(cha)比(bi)較困難。
