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真空泵是指運用機械、物理(li)、化學(xue)或(huo)物理(li)化學(xue)的(de)方法對(dui)被(bei)抽容器進(jin)行抽氣而(er)獲得真空(kong)的(de)器件或(huo)設(she)備。
簡單而言，真空泵(beng)(beng)是(shi)用各種各樣(yang)方(fang)式在某(mou)一(yi)密(mi)閉空間中改進(jin)、造(zao)成和(he)保持真空泵(beng)(beng)的設(she)備(bei)。在泵(beng)(beng)腔內產(chan)生根據轉(zhuan)動造(zao)成體(ti)(ti)積的轉(zhuan)變 而將氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)排出來泵(beng)(beng)外(wai)，主要是(shi)在吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)過程中，吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)腔體(ti)(ti)積擴大，真空值減少(shao)，將器皿內氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)吸(xi)進(jin)泵(beng)(beng)腔，在排氣(qi)(qi)(qi)管全過程中體(ti)(ti)積縮小，氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)壓強(qiang)擴大，最后根據骨架密(mi)封將吸(xi)進(jin)的氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)排出來泵(beng)(beng)外(wai)。
按真空(kong)泵(beng)的原(yuan)理，真空(kong)泵(beng)大部分能(neng)夠分成二種(zhong)種(zhong)類，即氣體(ti)收集(ji)泵(beng)和氣體(ti)傳送泵(beng)。
特點
(1)在(zai)較寬的工作壓(ya)力范疇內有(you)很(hen)大(da)的泵(beng)效；
(2)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子具備(bei)優良的(de)幾何圖形(xing)對稱，故震動(dong)小，運(yun)行(xing)穩定。轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子間(jian)及轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子和外殼間(jian)均(jun)有空隙，無需(xu)潤(run)化，磨擦(ca)損(sun)害小，可大幅度降(jiang)低推動(dong)輸出功率，進而可完成較(jiao)高速旋轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)；
(3)泵腔內(nei)不(bu)用用食油(you)密(mi)封性(xing)和潤化，可降低油(you)蒸汽對超濾裝置(zhi)的環境污(wu)染；
(4)泵(beng)腔內無(wu)縮小，無(wu)自動排(pai)氣閥(fa)。構造簡易、緊密，對被(bei)抽(chou)氣體中(zhong)的塵土(tu)和水(shui)蒸(zheng)氣不(bu)比較敏(min)感；
(5)縮小較為低，對氡氣抽真空實際效果差(cha)；
(6)轉(zhuan)子表面為(wei)形(xing)狀較為(wei)復雜的曲線(xian)柱面，加工(gong)和檢查比較困難。
