真空泵是指運用機械、物理、化(hua)學或(huo)物理化(hua)學的方法對被抽容器(qi)(qi)進行抽氣而獲得(de)真空(kong)的器(qi)(qi)件(jian)或(huo)設備。

簡單而言，真(zhen)空(kong)泵(beng)是(shi)用各(ge)種各(ge)樣方式(shi)在(zai)(zai)某一密閉空(kong)間中改進、造(zao)成和保持真(zhen)空(kong)泵(beng)的設備。在(zai)(zai)泵(beng)腔內產生根據轉動造(zao)成體(ti)積的轉變 而將氣體(ti)排(pai)出來泵(beng)外，主要是(shi)在(zai)(zai)吸(xi)氣過(guo)程中，吸(xi)氣腔體(ti)積擴大(da)，真(zhen)空(kong)值減少，將器皿內氣體(ti)吸(xi)進泵(beng)腔，在(zai)(zai)排(pai)氣管全過(guo)程中體(ti)積縮小，氣體(ti)壓強擴大(da)，最后根據骨架(jia)密封將吸(xi)進的氣體(ti)排(pai)出來泵(beng)外。

按真空泵的原理，真空泵大部(bu)分能夠分成二種種類，即氣(qi)體收集泵和氣(qi)體傳送泵。

特點

(1)在較寬的(de)工(gong)作(zuo)壓力范疇內有很大的(de)泵效；

(2)轉(zhuan)子具(ju)備優良的(de)幾何圖形對稱，故震動(dong)小，運行穩定。轉(zhuan)子間(jian)及轉(zhuan)子和外(wai)殼間(jian)均有(you)空隙，無需潤化，磨(mo)擦損害(hai)小，可大幅(fu)度降(jiang)低(di)推動(dong)輸出功率，進而(er)可完成較(jiao)高(gao)速旋轉(zhuan)；

(3)泵腔內不(bu)用用食(shi)油密封性和潤化，可降低油蒸汽對超濾裝(zhuang)置的環(huan)境污染；

(4)泵腔(qiang)內(nei)無(wu)縮小，無(wu)自動排氣(qi)閥。構(gou)造簡易、緊密，對被抽氣(qi)體中的塵土和水蒸氣(qi)不比較敏感；

(5)縮(suo)小較(jiao)為(wei)低，對氡氣抽真空(kong)實際效果差；

(6)轉(zhuan)子表面為(wei)形狀較為(wei)復雜(za)的曲線(xian)柱面，加(jia)工和檢(jian)查比較困難。