
真空泵是指(zhi)運用機械(xie)、物(wu)理(li)、化(hua)學(xue)或物(wu)理(li)化(hua)學(xue)的方法對被抽容器(qi)進行抽氣(qi)而獲(huo)得真空的器(qi)件或設備。
簡單(dan)而言,真(zhen)(zhen)空泵(beng)是(shi)用(yong)各(ge)種(zhong)各(ge)樣方式(shi)在(zai)(zai)某一密閉空間(jian)中改進(jin)、造成和保持(chi)真(zhen)(zhen)空泵(beng)的設備。在(zai)(zai)泵(beng)腔內產生(sheng)根(gen)據轉動造成體(ti)積(ji)(ji)的轉變 而將氣(qi)體(ti)排(pai)出來泵(beng)外,主要是(shi)在(zai)(zai)吸氣(qi)過(guo)程(cheng)中,吸氣(qi)腔體(ti)積(ji)(ji)擴大(da),真(zhen)(zhen)空值減(jian)少,將器皿內氣(qi)體(ti)吸進(jin)泵(beng)腔,在(zai)(zai)排(pai)氣(qi)管全過(guo)程(cheng)中體(ti)積(ji)(ji)縮小(xiao),氣(qi)體(ti)壓(ya)強擴大(da),最后根(gen)據骨(gu)架(jia)密封將吸進(jin)的氣(qi)體(ti)排(pai)出來泵(beng)外。
按(an)真(zhen)空(kong)泵的原理,真(zhen)空(kong)泵大部分(fen)能夠分(fen)成二種種類,即氣體(ti)(ti)收集泵和氣體(ti)(ti)傳送泵。
特點
(1)在較寬的工作壓力范疇(chou)內有(you)很大的泵效(xiao);
(2)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子具備(bei)優良的幾何(he)圖(tu)形對稱,故震動小(xiao)(xiao),運行穩(wen)定。轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子間及轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子和外殼間均有空(kong)隙,無需潤化,磨(mo)擦損害(hai)小(xiao)(xiao),可(ke)大幅度(du)降低(di)推動輸出(chu)功率,進而可(ke)完成較(jiao)高(gao)速旋轉(zhuan)(zhuan)(zhuan);
(3)泵腔內不用(yong)用(yong)食油密封性和(he)潤化,可降低油蒸汽對超濾裝置的環境污染;
(4)泵腔內(nei)無縮小,無自動排氣閥。構造簡易、緊密,對(dui)被抽氣體(ti)中的塵土和(he)水(shui)蒸氣不比較(jiao)敏感;
(5)縮小較(jiao)為低,對氡氣抽真(zhen)空實際(ji)效(xiao)果差;
(6)轉(zhuan)子表面(mian)為形狀(zhuang)較為復雜(za)的(de)曲線(xian)柱面(mian),加工(gong)和檢查比較困難(nan)。