真空泵是指(zhi)運用機械(xie)、物理、化學或物理化學的(de)方法(fa)對(dui)被抽(chou)容器進行(xing)抽(chou)氣而(er)獲得真(zhen)空的(de)器件或設備(bei)。

簡單而(er)言，真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)是用各種(zhong)各樣方(fang)式在(zai)某一密閉空(kong)(kong)間中改進(jin)、造成(cheng)和保(bao)持(chi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)設備。在(zai)泵(beng)腔內(nei)產(chan)生根據(ju)(ju)轉(zhuan)動(dong)造成(cheng)體(ti)積的(de)轉(zhuan)變 而(er)將氣(qi)(qi)(qi)體(ti)排出來(lai)泵(beng)外(wai)，主要是在(zai)吸氣(qi)(qi)(qi)過程中，吸氣(qi)(qi)(qi)腔體(ti)積擴大，真(zhen)空(kong)(kong)值(zhi)減少，將器(qi)皿內(nei)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)吸進(jin)泵(beng)腔，在(zai)排氣(qi)(qi)(qi)管全過程中體(ti)積縮小，氣(qi)(qi)(qi)體(ti)壓強擴大，最(zui)后根據(ju)(ju)骨(gu)架密封(feng)將吸進(jin)的(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)排出來(lai)泵(beng)外(wai)。

按真空泵的原理，真空泵大(da)部(bu)分(fen)能(neng)夠分(fen)成二種種類，即氣(qi)體(ti)收(shou)集泵和(he)氣(qi)體(ti)傳(chuan)送泵。

特點

(1)在較(jiao)寬的工作壓力范疇內有很大的泵效；

(2)轉子(zi)具(ju)備優良的(de)幾何圖形對稱，故震動(dong)小，運行(xing)穩定。轉子(zi)間(jian)(jian)及轉子(zi)和外殼間(jian)(jian)均(jun)有空隙，無需潤(run)化(hua)，磨(mo)擦損害小，可大幅度降(jiang)低推動(dong)輸出功率，進而可完(wan)成(cheng)較高(gao)速(su)旋轉；

(3)泵腔內不用用食油密封性(xing)和潤化，可降低油蒸(zheng)汽對超濾裝置的環境(jing)污染；

(4)泵腔內無(wu)縮小，無(wu)自動(dong)排氣(qi)閥。構造簡易、緊密，對被抽(chou)氣(qi)體中的(de)塵土和水蒸氣(qi)不比(bi)較(jiao)敏感；

(5)縮小較為低(di)，對氡氣抽真空實際(ji)效(xiao)果差；

(6)轉子表(biao)面為形狀較為復(fu)雜的曲線(xian)柱面，加工和檢查比(bi)較困難。