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真空泵是(shi)指運用機械、物(wu)(wu)理、化(hua)學或物(wu)(wu)理化(hua)學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件(jian)或設(she)備(bei)。
簡單而(er)言(yan)，真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)是用各種各樣方式在(zai)某一密閉(bi)空(kong)間中改進、造(zao)成和保持(chi)真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的設備。在(zai)泵(beng)(beng)(beng)腔內產生(sheng)根據轉動造(zao)成體(ti)積的轉變(bian) 而(er)將(jiang)氣(qi)體(ti)排出(chu)來泵(beng)(beng)(beng)外，主要是在(zai)吸氣(qi)過(guo)(guo)程(cheng)中，吸氣(qi)腔體(ti)積擴大，真空(kong)值減少，將(jiang)器皿內氣(qi)體(ti)吸進泵(beng)(beng)(beng)腔，在(zai)排氣(qi)管全(quan)過(guo)(guo)程(cheng)中體(ti)積縮小，氣(qi)體(ti)壓強擴大，最(zui)后根據骨(gu)架密封將(jiang)吸進的氣(qi)體(ti)排出(chu)來泵(beng)(beng)(beng)外。
按真空泵(beng)(beng)的(de)原理，真空泵(beng)(beng)大(da)部分能夠分成二種(zhong)種(zhong)類，即氣(qi)體(ti)收集泵(beng)(beng)和(he)氣(qi)體(ti)傳送泵(beng)(beng)。
特點
(1)在較寬的工作壓力范(fan)疇(chou)內有(you)很大的泵(beng)效；
(2)轉子具備優(you)良的幾何圖形(xing)對稱，故震動(dong)小，運行(xing)穩定。轉子間及轉子和(he)外殼間均有(you)空隙，無需潤化，磨(mo)擦損(sun)害小，可(ke)大幅度降低推動(dong)輸出(chu)功率，進(jin)而(er)可(ke)完成較高速旋轉；
(3)泵腔內不用(yong)用(yong)食(shi)油(you)密(mi)封性和潤(run)化，可降(jiang)低油(you)蒸汽對超濾裝置(zhi)的(de)環境污染；
(4)泵腔內(nei)無縮(suo)小(xiao)，無自動排(pai)氣(qi)閥。構(gou)造(zao)簡易、緊(jin)密，對被(bei)抽氣(qi)體中(zhong)的塵土和(he)水蒸氣(qi)不比較敏感；
(5)縮小較(jiao)為低，對氡氣抽真空實際效果(guo)差(cha)；
(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱(zhu)面，加工(gong)和檢查比較困難。
