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真空泵是指運用機械、物理、化(hua)學(xue)或物理化(hua)學(xue)的(de)方法對被(bei)抽容器進行抽氣(qi)而(er)獲得真(zhen)空的(de)器件或設備。
簡單而言，真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)是用各種各樣(yang)方式在某一密閉空間中(zhong)改進、造成和(he)保(bao)持真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)的設(she)備。在泵(beng)(beng)腔內產生根(gen)據轉動造成體積(ji)的轉變 而將氣(qi)(qi)體排(pai)(pai)出來泵(beng)(beng)外，主要是在吸(xi)(xi)氣(qi)(qi)過(guo)程中(zhong)，吸(xi)(xi)氣(qi)(qi)腔體積(ji)擴(kuo)大，真(zhen)(zhen)空值減(jian)少(shao)，將器(qi)皿(min)內氣(qi)(qi)體吸(xi)(xi)進泵(beng)(beng)腔，在排(pai)(pai)氣(qi)(qi)管全過(guo)程中(zhong)體積(ji)縮小，氣(qi)(qi)體壓(ya)強擴(kuo)大，最后根(gen)據骨架密封將吸(xi)(xi)進的氣(qi)(qi)體排(pai)(pai)出來泵(beng)(beng)外。
按真空(kong)泵的原理，真空(kong)泵大部分(fen)(fen)能夠(gou)分(fen)(fen)成二(er)種種類，即(ji)氣體(ti)收集泵和氣體(ti)傳送泵。
特點
(1)在(zai)較寬的工作壓力范疇內有很大(da)的泵效；
(2)轉(zhuan)(zhuan)子具備優良的幾何圖形對稱，故(gu)震動小，運行穩定。轉(zhuan)(zhuan)子間及轉(zhuan)(zhuan)子和(he)外殼間均有空(kong)隙(xi)，無需(xu)潤(run)化，磨擦(ca)損害小，可大幅(fu)度降(jiang)低推動輸出功(gong)率(lv)，進而可完成較高速旋轉(zhuan)(zhuan)；
(3)泵腔內(nei)不用(yong)用(yong)食(shi)油密封性和潤化(hua)，可降(jiang)低油蒸汽對超濾裝置的環境污染；
(4)泵腔內(nei)無(wu)縮小，無(wu)自動排氣(qi)閥。構造(zao)簡易(yi)、緊密，對被(bei)抽氣(qi)體中(zhong)的塵土和水蒸氣(qi)不比較(jiao)敏感；
(5)縮小較為(wei)低，對氡氣抽真空實(shi)際效果(guo)差；
(6)轉子表面為(wei)形狀較為(wei)復雜的曲線柱面，加工和檢查比(bi)較困(kun)難。
