
真空泵是指運用(yong)機械、物(wu)理(li)、化學或物(wu)理(li)化學的方法對被(bei)抽(chou)容器(qi)進行抽(chou)氣而獲得(de)真空的器(qi)件或設(she)備。
簡單而言,真(zhen)空泵(beng)是用各種各樣方(fang)式在(zai)(zai)某一密閉空間中改進、造成和(he)保持(chi)真(zhen)空泵(beng)的(de)設備。在(zai)(zai)泵(beng)腔內產生根據轉(zhuan)動造成體(ti)(ti)積的(de)轉(zhuan)變 而將氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)排出來泵(beng)外(wai),主(zhu)要(yao)是在(zai)(zai)吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)過(guo)程(cheng)(cheng)中,吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)腔體(ti)(ti)積擴大(da),真(zhen)空值減(jian)少,將器皿(min)內氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)吸(xi)進泵(beng)腔,在(zai)(zai)排氣(qi)(qi)(qi)管全過(guo)程(cheng)(cheng)中體(ti)(ti)積縮小,氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)壓強(qiang)擴大(da),最后根據骨(gu)架(jia)密封將吸(xi)進的(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)排出來泵(beng)外(wai)。
按真空泵(beng)(beng)的原理,真空泵(beng)(beng)大部(bu)分能(neng)夠分成二種種類,即氣體收(shou)集泵(beng)(beng)和(he)氣體傳(chuan)送泵(beng)(beng)。
特點
(1)在較寬的工作壓力范(fan)疇內有(you)很大(da)的泵效;
(2)轉(zhuan)子具備(bei)優良的幾何圖形對稱(cheng),故震動小(xiao),運(yun)行穩定。轉(zhuan)子間(jian)(jian)及轉(zhuan)子和外殼間(jian)(jian)均(jun)有空(kong)隙,無(wu)需潤(run)化,磨擦損害小(xiao),可(ke)大幅度降(jiang)低(di)推(tui)動輸出功率,進而(er)可(ke)完成較高速旋(xuan)轉(zhuan);
(3)泵腔內不用(yong)用(yong)食(shi)油密封性和(he)潤(run)化,可(ke)降低油蒸汽對(dui)超濾裝置的環境污(wu)染;
(4)泵腔內(nei)無縮小,無自動排氣閥。構造簡(jian)易、緊密(mi),對被抽氣體中的塵(chen)土和水蒸氣不比較敏感;
(5)縮小(xiao)較為低,對氡氣抽真空實際效果(guo)差(cha);
(6)轉(zhuan)子表(biao)面為形狀較(jiao)為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較(jiao)困難。