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真空泵是指運(yun)用機械(xie)、物(wu)理(li)、化(hua)學或物(wu)理(li)化(hua)學的方法對被(bei)抽(chou)容器(qi)進行抽(chou)氣而獲(huo)得真空的器(qi)件(jian)或設備。
簡單而(er)(er)言(yan)，真(zhen)空泵是(shi)用各種各樣(yang)方式在(zai)某一(yi)密(mi)閉空間中改進、造成和保(bao)持真(zhen)空泵的設備。在(zai)泵腔(qiang)內產生根據轉動造成體(ti)積的轉變 而(er)(er)將(jiang)(jiang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)排出來泵外，主要(yao)是(shi)在(zai)吸(xi)(xi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)過(guo)程(cheng)中，吸(xi)(xi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)腔(qiang)體(ti)積擴大，真(zhen)空值減少，將(jiang)(jiang)器皿內氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)吸(xi)(xi)進泵腔(qiang)，在(zai)排氣(qi)(qi)(qi)(qi)管全過(guo)程(cheng)中體(ti)積縮小(xiao)，氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)壓(ya)強擴大，最(zui)后根據骨架(jia)密(mi)封將(jiang)(jiang)吸(xi)(xi)進的氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)排出來泵外。
按真空泵(beng)的原理，真空泵(beng)大部分(fen)能(neng)夠分(fen)成二種(zhong)種(zhong)類，即(ji)氣體(ti)收集泵(beng)和氣體(ti)傳送泵(beng)。
特點
(1)在較(jiao)寬的工作壓(ya)力范(fan)疇內有(you)很大的泵效(xiao)；
(2)轉(zhuan)子具(ju)備優良的幾(ji)何(he)圖形(xing)對稱，故震(zhen)動(dong)小，運行穩定。轉(zhuan)子間及轉(zhuan)子和外殼間均有空隙，無需潤化，磨擦損害小，可大幅度降低推動(dong)輸出功率，進而可完成較高速旋轉(zhuan)；
(3)泵(beng)腔(qiang)內(nei)不用(yong)(yong)用(yong)(yong)食油(you)密(mi)封性和潤化(hua)，可降低油(you)蒸(zheng)汽對超濾裝置的環境污染；
(4)泵腔(qiang)內無縮小，無自動排氣閥。構造簡易(yi)、緊密，對(dui)被抽(chou)氣體(ti)中(zhong)的塵土和水蒸(zheng)氣不比較敏感；
(5)縮小較為低，對(dui)氡氣抽(chou)真空實際(ji)效果差；
(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲(qu)線柱面，加工(gong)和檢查比較困難。
