真空泵是指運用機械、物(wu)理、化學或物(wu)理化學的(de)方法對被抽(chou)容器(qi)進行抽(chou)氣而獲得真空的(de)器(qi)件或設備(bei)。

簡(jian)單而(er)言，真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)是(shi)用各(ge)種各(ge)樣方式在(zai)某(mou)一密閉空(kong)間(jian)中改進、造成和保(bao)持真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)設備。在(zai)泵(beng)(beng)(beng)腔內(nei)(nei)產生根據轉(zhuan)動造成體(ti)(ti)積的(de)轉(zhuan)變 而(er)將氣(qi)體(ti)(ti)排出來(lai)泵(beng)(beng)(beng)外(wai)，主要(yao)是(shi)在(zai)吸(xi)(xi)氣(qi)過程(cheng)中，吸(xi)(xi)氣(qi)腔體(ti)(ti)積擴(kuo)大(da)，真(zhen)空(kong)值(zhi)減少，將器皿(min)內(nei)(nei)氣(qi)體(ti)(ti)吸(xi)(xi)進泵(beng)(beng)(beng)腔，在(zai)排氣(qi)管全過程(cheng)中體(ti)(ti)積縮小，氣(qi)體(ti)(ti)壓強(qiang)擴(kuo)大(da)，最后根據骨架密封將吸(xi)(xi)進的(de)氣(qi)體(ti)(ti)排出來(lai)泵(beng)(beng)(beng)外(wai)。

按真空(kong)泵(beng)的原(yuan)理，真空(kong)泵(beng)大部分能夠分成(cheng)二種(zhong)種(zhong)類(lei)，即氣(qi)體收集泵(beng)和氣(qi)體傳送泵(beng)。

特點

(1)在較寬的工作壓力范疇內(nei)有很(hen)大的泵效；

(2)轉(zhuan)子具備(bei)優良的(de)幾(ji)何(he)圖形對稱，故震(zhen)動小，運(yun)行(xing)穩定。轉(zhuan)子間及(ji)轉(zhuan)子和外(wai)殼間均有空隙，無需潤化(hua)，磨擦損害小，可大幅度降低推動輸出功率，進而可完成(cheng)較高速旋轉(zhuan)；

(3)泵腔內不用用食(shi)油(you)密封性和潤(run)化，可降低油(you)蒸(zheng)汽對(dui)超(chao)濾裝(zhuang)置的環境污染；

(4)泵腔內無(wu)縮小，無(wu)自動排氣閥。構(gou)造簡易(yi)、緊密，對被(bei)抽氣體(ti)中的塵(chen)土和水蒸(zheng)氣不(bu)比較敏感(gan)；

(5)縮小較為低，對氡氣抽真空實際(ji)效果差(cha)；

(6)轉子表面為形狀(zhuang)較為復(fu)雜的曲線柱面，加(jia)工和檢查比較困難。