真空泵是指運用機械、物理(li)、化學或物理(li)化學的(de)方法(fa)對(dui)被(bei)抽容器進行抽氣而獲(huo)得(de)真空的(de)器件或設備(bei)。

簡單而(er)言，真空(kong)泵是用各種各樣(yang)方式(shi)在(zai)(zai)某一(yi)密(mi)閉空(kong)間中改(gai)進(jin)、造(zao)成和保持真空(kong)泵的設備(bei)。在(zai)(zai)泵腔(qiang)內產生根(gen)據轉動(dong)造(zao)成體積的轉變 而(er)將(jiang)(jiang)氣(qi)體排出(chu)(chu)來泵外，主要是在(zai)(zai)吸(xi)(xi)(xi)氣(qi)過(guo)程中，吸(xi)(xi)(xi)氣(qi)腔(qiang)體積擴(kuo)大，真空(kong)值減少，將(jiang)(jiang)器皿內氣(qi)體吸(xi)(xi)(xi)進(jin)泵腔(qiang)，在(zai)(zai)排氣(qi)管全過(guo)程中體積縮小，氣(qi)體壓強擴(kuo)大，最后(hou)根(gen)據骨架密(mi)封將(jiang)(jiang)吸(xi)(xi)(xi)進(jin)的氣(qi)體排出(chu)(chu)來泵外。

按真(zhen)空泵的(de)原理(li)，真(zhen)空泵大部分能(neng)夠(gou)分成二種種類(lei)，即(ji)氣體收集泵和氣體傳送泵。

特點

(1)在較(jiao)寬的工(gong)作壓力范疇內(nei)有很大(da)的泵(beng)效(xiao)；

(2)轉(zhuan)(zhuan)子具備優(you)良的幾(ji)何圖形對稱，故震動小，運(yun)行穩定(ding)。轉(zhuan)(zhuan)子間及轉(zhuan)(zhuan)子和外殼間均(jun)有空隙(xi)，無需潤(run)化，磨擦損害小，可大幅(fu)度(du)降(jiang)低推動輸出(chu)功(gong)率，進(jin)而可完(wan)成較高(gao)速旋轉(zhuan)(zhuan)；

(3)泵腔(qiang)內不用用食油(you)密封性和潤化，可降低油(you)蒸汽對超濾裝置的環(huan)境污染；

(4)泵腔內無縮小(xiao)，無自(zi)動排氣閥。構造簡(jian)易(yi)、緊(jin)密，對被抽氣體中的(de)塵土和水蒸氣不比較敏感；

(5)縮小(xiao)較為低，對(dui)氡(dong)氣抽真空實際效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱(zhu)面，加工和(he)檢查(cha)比(bi)較困難。