
真空泵是指運用機械、物理(li)、化學或(huo)物理(li)化學的方(fang)法對被抽容器(qi)進行抽氣而獲得真空的器(qi)件或(huo)設備。
簡單而言,真空泵(beng)(beng)(beng)是用各(ge)(ge)種各(ge)(ge)樣(yang)方式在(zai)某(mou)一密(mi)閉(bi)空間中改進、造(zao)成和(he)保(bao)持真空泵(beng)(beng)(beng)的(de)設備。在(zai)泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang)內(nei)產生根(gen)據(ju)(ju)轉動造(zao)成體(ti)積(ji)的(de)轉變 而將(jiang)氣(qi)體(ti)排出來泵(beng)(beng)(beng)外,主(zhu)要是在(zai)吸(xi)氣(qi)過(guo)(guo)程中,吸(xi)氣(qi)腔(qiang)體(ti)積(ji)擴(kuo)大(da)(da),真空值減少(shao),將(jiang)器皿內(nei)氣(qi)體(ti)吸(xi)進泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang),在(zai)排氣(qi)管(guan)全過(guo)(guo)程中體(ti)積(ji)縮小(xiao),氣(qi)體(ti)壓強(qiang)擴(kuo)大(da)(da),最后根(gen)據(ju)(ju)骨架密(mi)封將(jiang)吸(xi)進的(de)氣(qi)體(ti)排出來泵(beng)(beng)(beng)外。
按真(zhen)空泵(beng)(beng)的原理(li),真(zhen)空泵(beng)(beng)大部(bu)分能夠(gou)分成二(er)種種類,即氣體收(shou)集(ji)泵(beng)(beng)和(he)氣體傳(chuan)送泵(beng)(beng)。
特點
(1)在(zai)較寬的工作壓力范疇(chou)內有很(hen)大的泵效(xiao);
(2)轉子(zi)(zi)具備優良的幾何圖形對稱,故震動小(xiao),運(yun)行穩定(ding)。轉子(zi)(zi)間及轉子(zi)(zi)和(he)外殼間均有空隙,無需潤(run)化,磨擦損害(hai)小(xiao),可大幅度(du)降(jiang)低推動輸出功(gong)率(lv),進而可完成較高速旋轉;
(3)泵腔內不(bu)用用食油密封(feng)性和潤化,可降低油蒸汽對超濾裝置的(de)環境(jing)污染;
(4)泵(beng)腔內無(wu)縮小,無(wu)自動排(pai)氣(qi)閥。構造(zao)簡(jian)易、緊密,對被抽氣(qi)體中的(de)塵土和水蒸氣(qi)不比較(jiao)敏感;
(5)縮小較為(wei)低(di),對氡氣抽(chou)真空實際效果差;
(6)轉子表(biao)面(mian)為形狀較為復雜(za)的曲線柱面(mian),加工和檢查比較困(kun)難。