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真空泵是指運用機械、物理、化學或物理化學的(de)方法(fa)對被抽容器進(jin)行(xing)抽氣而獲得真空(kong)的(de)器件(jian)或設備。
簡(jian)單而言，真空泵(beng)(beng)(beng)是用各種各樣方式(shi)在(zai)(zai)某(mou)一密(mi)閉空間中(zhong)改進(jin)、造成和保持(chi)真空泵(beng)(beng)(beng)的(de)設備(bei)。在(zai)(zai)泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang)內產生根(gen)據(ju)轉動造成體(ti)(ti)積的(de)轉變 而將(jiang)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)排出(chu)來泵(beng)(beng)(beng)外，主要是在(zai)(zai)吸(xi)氣(qi)(qi)過程(cheng)中(zhong)，吸(xi)氣(qi)(qi)腔(qiang)體(ti)(ti)積擴大，真空值減少，將(jiang)器皿內氣(qi)(qi)體(ti)(ti)吸(xi)進(jin)泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang)，在(zai)(zai)排氣(qi)(qi)管(guan)全(quan)過程(cheng)中(zhong)體(ti)(ti)積縮小，氣(qi)(qi)體(ti)(ti)壓強擴大，最后根(gen)據(ju)骨架密(mi)封將(jiang)吸(xi)進(jin)的(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)排出(chu)來泵(beng)(beng)(beng)外。
按真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)原理，真(zhen)空(kong)泵(beng)大部分能夠分成二種種類，即氣(qi)體(ti)收集泵(beng)和氣(qi)體(ti)傳(chuan)送泵(beng)。
特點
(1)在(zai)較(jiao)寬的(de)工作壓力范(fan)疇內有很大的(de)泵效；
(2)轉子具備優良的幾何圖(tu)形(xing)對(dui)稱，故震動小，運行穩(wen)定(ding)。轉子間(jian)及轉子和外殼間(jian)均有空隙，無需潤(run)化(hua)，磨(mo)擦損(sun)害小，可大幅(fu)度降低(di)推動輸出功率，進而(er)可完成較高速旋轉；
(3)泵腔內不用用食(shi)油(you)(you)密封性和潤化，可(ke)降低油(you)(you)蒸汽對超濾(lv)裝置(zhi)的(de)環境(jing)污(wu)染；
(4)泵腔內無縮小，無自動(dong)排氣閥。構造簡易、緊(jin)密(mi)，對(dui)被抽氣體中的塵土和水蒸氣不比較(jiao)敏感；
(5)縮小(xiao)較(jiao)為低(di)，對(dui)氡氣抽真空實際效(xiao)果差；
(6)轉子(zi)表(biao)面(mian)為(wei)形狀較為(wei)復雜的曲線柱面(mian)，加工和(he)檢查(cha)比較困難(nan)。
