真空泵是指運用(yong)機械、物(wu)理(li)、化學或物(wu)理(li)化學的方法對被抽容器(qi)進行抽氣而(er)獲得真空的器(qi)件或設備。

簡單而(er)言，真空泵是(shi)(shi)用各種各樣方式在(zai)某一(yi)密(mi)閉空間中(zhong)改進、造成和保持真空泵的(de)設(she)備。在(zai)泵腔(qiang)內產(chan)生根據轉動造成體積(ji)的(de)轉變 而(er)將(jiang)(jiang)氣體排(pai)出來泵外(wai)，主要是(shi)(shi)在(zai)吸氣過程中(zhong)，吸氣腔(qiang)體積(ji)擴大，真空值(zhi)減少，將(jiang)(jiang)器皿內氣體吸進泵腔(qiang)，在(zai)排(pai)氣管全過程中(zhong)體積(ji)縮小，氣體壓強擴大，最后根據骨架密(mi)封將(jiang)(jiang)吸進的(de)氣體排(pai)出來泵外(wai)。

按真空(kong)(kong)泵的(de)原理，真空(kong)(kong)泵大部分(fen)能夠(gou)分(fen)成二種種類，即氣體收(shou)集泵和氣體傳送(song)泵。

特點

(1)在較寬的工作(zuo)壓力范疇(chou)內有很大的泵效；

(2)轉(zhuan)(zhuan)子具備(bei)優良的幾何(he)圖(tu)形對(dui)稱，故震動小，運行穩(wen)定(ding)。轉(zhuan)(zhuan)子間及(ji)轉(zhuan)(zhuan)子和外殼間均有空隙，無需潤化，磨擦損害小，可(ke)大幅度(du)降低(di)推動輸出功率(lv)，進而(er)可(ke)完成較高速旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)；

(3)泵腔內不用(yong)用(yong)食油密封性和潤(run)化，可降低油蒸汽對(dui)超濾裝置的環境污(wu)染(ran)；

(4)泵腔內無(wu)縮小，無(wu)自動排氣閥。構造簡易、緊密(mi)，對被(bei)抽(chou)氣體中的塵土和水(shui)蒸氣不比較敏感；

(5)縮小(xiao)較為(wei)低，對(dui)氡(dong)氣抽真(zhen)空實(shi)際效果差；

(6)轉子表面(mian)為形狀較為復雜的曲(qu)線柱面(mian)，加工和檢查比較困難。