真空泵是指運用機械、物理、化(hua)學或(huo)物理化(hua)學的(de)方法(fa)對被抽容器進行抽氣而(er)獲(huo)得真空的(de)器件或(huo)設備。

簡單而言，真空(kong)(kong)泵是用各種各樣方式在某一密(mi)閉空(kong)(kong)間(jian)中(zhong)(zhong)改進、造成和(he)保持真空(kong)(kong)泵的設備。在泵腔內(nei)產(chan)生(sheng)根據(ju)轉動造成體(ti)(ti)積的轉變 而將氣(qi)(qi)體(ti)(ti)排出(chu)來(lai)泵外(wai)，主要(yao)是在吸氣(qi)(qi)過程(cheng)中(zhong)(zhong)，吸氣(qi)(qi)腔體(ti)(ti)積擴大，真空(kong)(kong)值減少，將器皿內(nei)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)吸進泵腔，在排氣(qi)(qi)管全過程(cheng)中(zhong)(zhong)體(ti)(ti)積縮小，氣(qi)(qi)體(ti)(ti)壓(ya)強(qiang)擴大，最后(hou)根據(ju)骨架密(mi)封將吸進的氣(qi)(qi)體(ti)(ti)排出(chu)來(lai)泵外(wai)。

按真(zhen)空(kong)泵的原理，真(zhen)空(kong)泵大部分能夠分成二種種類，即氣(qi)體(ti)收(shou)集泵和氣(qi)體(ti)傳送泵。

特點

(1)在較寬的(de)(de)工作壓力范疇內有很大的(de)(de)泵效；

(2)轉子(zi)具備優良的幾何(he)圖形對(dui)稱，故震動小，運行穩(wen)定。轉子(zi)間及(ji)轉子(zi)和外殼間均有空隙，無需潤化，磨擦損害小，可大幅度(du)降低推動輸(shu)出功率(lv)，進(jin)而可完成較(jiao)高速旋轉；

(3)泵腔內(nei)不用用食(shi)油(you)密封性(xing)和潤化，可降(jiang)低油(you)蒸汽對超濾裝置(zhi)的環境污(wu)染；

(4)泵腔內(nei)無縮小(xiao)，無自動排氣閥。構造簡(jian)易、緊密，對被抽氣體中的塵土和水蒸氣不比較敏感；

(5)縮小較為低，對(dui)氡氣抽真空實際效果差；

(6)轉(zhuan)子表面(mian)為形狀(zhuang)較為復(fu)雜(za)的曲線(xian)柱(zhu)面(mian)，加工和檢(jian)查比較困難。