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真空泵是指(zhi)運用機械、物理(li)、化(hua)學或物理(li)化(hua)學的(de)方(fang)法對被抽(chou)容器進行抽(chou)氣而獲得真空的(de)器件或設備。
簡單而言，真(zhen)空泵是(shi)用各種各樣(yang)方(fang)式在某(mou)一密(mi)閉空間中改(gai)進、造成和保持真(zhen)空泵的(de)(de)設備。在泵腔內產生根據轉動造成體(ti)(ti)積的(de)(de)轉變(bian) 而將(jiang)氣體(ti)(ti)排(pai)出(chu)來(lai)泵外(wai)，主要是(shi)在吸氣過程(cheng)中，吸氣腔體(ti)(ti)積擴大，真(zhen)空值減(jian)少，將(jiang)器皿(min)內氣體(ti)(ti)吸進泵腔，在排(pai)氣管(guan)全過程(cheng)中體(ti)(ti)積縮小，氣體(ti)(ti)壓(ya)強擴大，最后根據骨架密(mi)封將(jiang)吸進的(de)(de)氣體(ti)(ti)排(pai)出(chu)來(lai)泵外(wai)。
按(an)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的原理，真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)大部分能夠分成二種(zhong)種(zhong)類，即(ji)氣體收集(ji)泵(beng)(beng)和(he)氣體傳送泵(beng)(beng)。
特點
(1)在較寬的工作壓力范疇內(nei)有很大的泵效；
(2)轉(zhuan)子具備優良的幾何圖(tu)形對稱(cheng)，故震動(dong)小，運行(xing)穩定(ding)。轉(zhuan)子間及(ji)轉(zhuan)子和外殼間均有空隙，無需(xu)潤化(hua)，磨擦損害(hai)小，可大幅(fu)度(du)降低推(tui)動(dong)輸出功率，進而(er)可完成較高(gao)速(su)旋(xuan)轉(zhuan)；
(3)泵腔內(nei)不用用食油密(mi)封(feng)性和潤化，可降低油蒸汽對超(chao)濾(lv)裝(zhuang)置的(de)環境污(wu)染；
(4)泵腔內無縮小，無自動排氣(qi)閥(fa)。構造(zao)簡易(yi)、緊密，對被(bei)抽氣(qi)體中(zhong)的塵土(tu)和水(shui)蒸氣(qi)不比較敏感；
(5)縮小較為低，對氡(dong)氣抽(chou)真空實際效(xiao)果差；
(6)轉子表(biao)面(mian)為形(xing)狀較為復雜的(de)曲線柱面(mian)，加工和檢(jian)查比較困難。
